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J-GLOBAL ID:200903001116980519
光重合性樹脂組成物
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
成瀬 勝夫 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998159593
Publication number (International publication number):1999349787
Application date: Jun. 08, 1998
Publication date: Dec. 21, 1999
Summary:
【要約】【課題】 特定のエチレン性不飽和基を有する付加重合性化合物を樹脂成分として含有する光重合性樹脂組成物において、解像度、現像マージン及び表面硬化性に優れ、特にi線(365nm)に対して高感度を有する光重合性樹脂組成物を提供することにあり、特に、厚膜、例えば、光照射時の膜厚が10μm以上であっても硬化性に優れ、しかも、着色光重合組成物に対しては、その色特性に大きな影響を与えることなく、透明性に優れた光重合性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 常圧において100°C以上の沸点を有し、かつ、1分子中に少なくとも2つのエチレン性不飽和基を有する付加重合性化合物(成分A)を樹脂成分として含み、2-メチル-1-〔4-(メチルチオ)フェニル〕-2- モルフォリノ-プロパン-1-オン(成分C)と、ジアミノベンゾフェノン化合物(成分D)と、N-フェニルグリシン類(成分E)とを光重合開始剤成分として含む光重合性樹脂組成物である。
Claim (excerpt):
常圧において100°C以上の沸点を有し、かつ、1分子中に少なくとも2つのエチレン性不飽和基を有する付加重合性化合物(成分A)を樹脂成分として含み、2-メチル-1-〔4-(メチルチオ)フェニル〕-2- モルフォリノ-プロパン-1-オン(成分C)と、下記一般式(1)【化1】(但し、式中、R1 、R2 、R3 及びR4 は水素原子、又は炭素数1〜3のアルキル基を示す)で表されるジアミノベンゾフェノン化合物(成分D)と、下記一般式(2)【化2】(但し、式中、R5 及びR6 は水素原子又は炭素数1〜8のアルキル基を示し、nは0〜5の整数である)で表されるN-フェニルグリシン類(成分E)とを光重合開始剤成分として含有することを特徴とする光重合性樹脂組成物。
IPC (8):
C08L 57/00
, C08F 2/50
, C08K 5/17
, C08L101/14
, G03F 7/028
, C08F 20/10
, C08F290/06
, C09D 4/02
FI (8):
C08L 57/00
, C08F 2/50
, C08K 5/17
, C08L101/14
, G03F 7/028
, C08F 20/10
, C08F290/06
, C09D 4/02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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感光性樹脂組成物
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-315979
Applicant:日本合成化学工業株式会社
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セラミックパターン形成法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-117699
Applicant:日本合成化学工業株式会社
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感光性樹脂組成物及びこれを用いたドライフィル ムレジスト
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-287457
Applicant:日本合成化学工業株式会社
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フォトレジストフィルム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-279696
Applicant:日本合成化学工業株式会社
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フォトレジストフィルム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-330903
Applicant:日本合成化学工業株式会社
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特開昭62-024240
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特開平4-173804
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