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J-GLOBAL ID：200903001310206018

試料イオンの飛行時間測定用装置,飛行時間型質量分析装置,飛行時間型質量分析方法

Inventor：
一原 主税

About 一原 主税

, 
小林 明

About 小林 明


Applicant, Patent owner：
株式会社神戸製鋼所

About 株式会社神戸製鋼所


Agent (1)： 本庄 武男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005221847
Publication number (International publication number)：2007042299
Application date： Jul. 29, 2005
Publication date： Feb. 15, 2007
Summary：
【課題】 測定用ビームば照射された試料から散乱した試料イオンの質量にかかわらず均一な質量分解能を実現し,且つ,コンパクトな装置でありながら長い飛行距離を確保して長時間試料イオンを飛行させることにより高い質量分解能を実現すること。 【解決手段】 測定用ビームHが試料Sに照射されることにより該試料Sから散乱した試料イオンの飛行時間に基づいて上記散乱イオンの質量を分析する飛行時間型質量分析装置において,試料Sにおける上記測定用ビームHの照射部を通る所定の基準軸Gに沿った所定領域に,その基準軸Gに平行な磁場をソレノイドコイル35で発生させ,発生された磁場中を旋回飛行する試料イオンをイオン検出器21で検出し,検出された試料イオンの所定距離における飛行時間を測定し,測定された飛行時間に基づいて上記散乱イオンの質量を分析する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
荷電粒子ビーム若しくはレーザビームからなる測定用ビームが試料に照射されることにより該試料から散乱した試料イオンの飛行時間を測定するのに用いる試料イオンの飛行時間測定用装置であって, 上記試料における上記測定用ビームの照射部を通る所定の基準軸に沿った所定領域に該基準軸に平行な磁場を発生させる磁場発生手段と, 上記磁場発生手段により発生された磁場中において上記基準軸の周りを旋回飛行する上記試料イオンを検出するイオン検出手段と, を具備してなることを特徴とする試料イオンの飛行時間測定用装置。
IPC (4)：
H01J 49/40 ,  G01N 27/62 ,  G01N 27/64 ,  H01J 49/14
FI (5)：
H01J49/40 ,  G01N27/62 K ,  G01N27/64 B ,  G01N27/64 Z ,  H01J49/14
F-Term (13)：
2G041CA01 ,  2G041DA03 ,  2G041DA16 ,  2G041EA01 ,  2G041FA12 ,  2G041GA02 ,  2G041GA06 ,  2G041GA13 ,  2G041GA16 ,  2G041GA29 ,  5C038GG01 ,  5C038GG02 ,  5C038GG07
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (7)
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Cited by examiner (7)
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