電子ビーム照明装置及び該装置を備えた電子ビーム露光装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：丸島儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997005440
Publication number (International publication number)：1998199469
Application date： Jan. 16, 1997
Publication date： Jul. 31, 1998
Summary：

【要約】【課題】広い照明領域に均一な照明を行える電子ビーム照明装置及び該装置を備えた電子ビーム露光装置を提供する。【解決手段】電子ビームを放射する光源を用いて物体を照明する電子ビーム照明装置において、前記光源からの電子ビームを前記物体に照射する為の、複数の電子レンズを有する照明電子光学系と、前記物体に照射される電子ビームの強度分布に関する情報を得る手段と、前記情報に基づいて、前記複数の電子レンズの少なくとも2つの電子レンズを調整する調整手段とを有する。

Claim (excerpt)：

電子ビームを放射する光源を用いて物体を照明する電子ビーム照明装置において、前記光源からの電子ビームを前記物体に照射する為の、複数の電子レンズを有する照明電子光学系と、前記物体に照射される電子ビームの強度分布に関する情報を得る手段と、前記情報に基づいて、前記複数の電子レンズの少なくとも2つの電子レンズを調整する調整手段とを有することを特徴とする電子ビーム照明装置。

IPC (4)：

H01J 37/305 , G03F 7/20 504 , G21K 5/04 , H01L 21/027

FI (4)：

H01J 37/305 B , G03F 7/20 504 , G21K 5/04 E , H01L 21/30 541 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

磁界型電子レンズアライメント機構
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-293148 Applicant：日本電気株式会社
荷電粒子ビーム露光装置及び露光方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-143724 Applicant：富士通株式会社, 富士通ヴィエルエスアイ株式会社
荷電粒子ビーム露光装置の収束データ作成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-186966 Applicant：富士通株式会社

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