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J-GLOBAL ID:200903001485630033
感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性エレメント
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001368279
Publication number (International publication number):2003167338
Application date: Dec. 03, 2001
Publication date: Jun. 13, 2003
Summary:
【要約】【課題】低露光量でも高感度で,かつ現像残りを起さない感光性樹脂組成物およびそれを用いてなる感光性エレメントを提供すること。【解決手段】バインダー樹脂〔A〕、エチレン性不飽和化合物〔B〕およびロフィン二量体(C1)、N-アリールグリシン(C2)、アルキルアミノベンゾフェノン(C3)を含有する光重合開始剤〔C〕、下記一般式(1)で示される化合物(D1)及び/又は一般式(2)で示される化合物(D2)からなる〔D〕成分を含有する感光性樹脂組成物及びそれを用いてなる感光性エレメント。(Rはそれぞれ独立にアルキル基、フェニル基、ナフチル基を示す。)(R’はそれぞれ独立にアルキル基、フェニル基を示す。)
Claim (excerpt):
バインダー樹脂〔A〕、エチレン性不飽和化合物〔B〕およびロフィン二量体(C1)、N-アリールグリシン(C2)、アルキルアミノベンゾフェノン(C3)を含有する光重合開始剤〔C〕、下記一般式(1)で示される化合物(D1)及び/又は下記一般式(2)で示される化合物(D2)からなる〔D〕成分を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(Rはそれぞれ独立にアルキル基、フェニル基、ナフチル基を示す。)【化2】(R’はそれぞれ独立にアルキル基、フェニル基を示す。)
IPC (8):
G03F 7/029
, C08F 2/44
, C08F 2/50
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 507
, G03F 7/004 512
, G03F 7/031
, H05K 3/00
FI (9):
G03F 7/029
, C08F 2/44 B
, C08F 2/44 C
, C08F 2/50
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 507
, G03F 7/004 512
, G03F 7/031
, H05K 3/00 F
F-Term (43):
2H025AA01
, 2H025AA04
, 2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AB20
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC14
, 2H025BC32
, 2H025BC42
, 2H025BC51
, 2H025CA03
, 2H025CA27
, 2H025CA28
, 2H025CA30
, 2H025CA35
, 2H025CA44
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CB20
, 2H025CB23
, 2H025CB30
, 2H025FA03
, 2H025FA17
, 4J011AC04
, 4J011PA36
, 4J011PA45
, 4J011PA69
, 4J011PA70
, 4J011PB38
, 4J011PB40
, 4J011QA03
, 4J011QA07
, 4J011QA13
, 4J011QA17
, 4J011QA18
, 4J011QA22
, 4J011QA23
, 4J011QA24
, 4J011QB16
, 4J011SA25
, 4J011SA78
, 4J011SA82
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
-
感光性樹脂組成物及びこれを用いたドライフィルムレジスト
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-157964
Applicant:日本合成化学工業株式会社
-
ラミネート方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-218494
Applicant:ニチゴー・モートン株式会社
-
フォトレジストフィルム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-279696
Applicant:日本合成化学工業株式会社
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