成膜用原料粉、及び、それを用いた成膜方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：渡部温 , 宇都宮正明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004165960
Publication number (International publication number)：2005344171
Application date： Jun. 03, 2004
Publication date： Dec. 15, 2005
Summary：

【課題】長時間に渡るAD法による成膜過程においても凝集し難い原料粉を提供する。【解決手段】原料粉を基板に向けて噴射することにより、基板上に上記原料粉の組成材料を堆積させる成膜方法において用いられる原料粉であって、母材粒子11と、母材粒子よりも小さい粒径を有し、該母材粒子の表面を覆うように固着している微粉末粒子12とを含む。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

原料粉を基板に向けて噴射することにより、前記基板上に前記原料粉の組成材料を堆積させる成膜方法において用いられる原料粉であって、母材となる第1の粒子と、前記第1の粒子よりも小さい粒径を有し、前記第1の粒子の表面を覆うように固着している第2の粒子と、を具備する成膜用原料粉。

IPC (3)：

C23C24/04 , H01L41/18 , H01L41/24

FI (3)：

C23C24/04 , H01L41/22 A , H01L41/18 101Z

F-Term (11)：

4K044AA06 , 4K044BA01 , 4K044BA11 , 4K044BA12 , 4K044BA13 , 4K044BA14 , 4K044BB01 , 4K044BB03 , 4K044BC06 , 4K044CA23 , 4K044CA29

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

複合構造物とその製造方法および複合構造物形成用脆性材料粒子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-314449 Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所, 東陶機器株式会社
複合構造物作製方法及び複合構造物作製装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-077993 Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所, 東陶機器株式会社
複合構造物作製方法及び複合構造物作製装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-077994 Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所, 東陶機器株式会社

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Cited by examiner (5)

複合銅微粉末及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-152755 Applicant：三井金属鉱業株式会社
特開平3-075302
特開平3-075302

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