薄膜と回折光学素子とそれらの製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (6)：深見久郎 , 森田俊雄 , 仲村義平 , 堀井豊 , 野田久登 , 酒井將行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004221990
Publication number (International publication number)：2006039392
Application date： Jul. 29, 2004
Publication date： Feb. 09, 2006
Summary：

【課題】実用的な屈折率変調型回折光学素子をより簡便にかつ低コストで提供する。【解決手段】回折光学素子の製造方法において、主要成分として炭素を含んでいて30より大きく200より小さいヌープ硬度と1.54未満の屈折率とを有する薄膜(1)を準備し、薄膜に回折作用を生じさせるための屈折率変調構造を形成するように、薄膜の複数領域(2a)にエネルギビーム(4)を照射してそれらの領域の屈折率を高めることを特徴としている。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

主要成分として炭素を含んでいて30より大きく200より小さいヌープ硬度と1.54未満の屈折率とを有する薄膜を準備し、前記薄膜に回折作用を生じさせるための屈折率変調構造を形成するように、前記薄膜の複数領域にエネルギビームを照射してそれらの領域の屈折率を高めることを特徴とする回折光学素子の製造方法。

IPC (1)：

G02B 5/18

FI (1)：

G02B5/18

F-Term (4)：

2H049AA02 , 2H049AA33 , 2H049AA44 , 2H049AA63

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

ファラデー回転子、光アイソレータ、偏光子、およびダイヤモンドライクカーボン薄膜
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-082784 Applicant：住友電気工業株式会社

Cited by examiner (8)

光射出面上に回折光学膜を有する発光素子とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-360493 Applicant：住友電気工業株式会社
端部に回折光学膜を有する光ファイバとその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-363345 Applicant：住友電気工業株式会社
被覆摺動部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-356856 Applicant：住友電気工業株式会社

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