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J-GLOBAL ID：200903002059364977
光学素子及び光学素子の製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997139442
Publication number (International publication number)：1998319221
Application date： May. 14, 1997
Publication date： Dec. 04, 1998
Summary：
【要約】【課題】 完全ドライ化された回折格子や光学素子の高速加工製造方法及び上記製造法で作成された、溝形状を有する光学素子を提供する。【解決手段】 格子形状のマスクの投影照射可能な光学系を有するレーザアブレーション加工部1〜5によって、少なくとも一部に反射膜を有するレーザアブレーション加工可能な高分子材料からなる被加工材6に反射膜方向からレーザを照射し、反射膜の回析格子形状を作成する。
Claim (excerpt)：
格子形状のマスクの投影照射可能な光学系を有するレーザアブレーション加工装置によって、少なくとも一部に反射膜を有するレーザアブレーション加工可能な高分子材料に反射膜方向からレーザを照射し反射膜の回析格子形状を作成することを特徴とする光学素子製造方法。
IPC (2)：
FI (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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回折光学素子の加工方法及び加工装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平6-322485
Applicant：松下電器産業株式会社
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金属薄膜パターン形成法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平6-304141
Applicant：日新電機株式会社
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レーザ加工装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平6-299711
Applicant：ブラザー工業株式会社
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