Pat
J-GLOBAL ID：200903002278250596

X線分光器

Inventor：
木村 淳

About 木村 淳


Applicant, Patent owner：
日本電子株式会社

About 日本電子株式会社


Agent (2)： 井島 藤治 ,  鮫島 信重
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006222838
Publication number (International publication number)：2008047451
Application date： Aug. 18, 2006
Publication date： Feb. 28, 2008
Summary：
【課題】本発明はX線分光器に関し、遮蔽板の調整を確実かつ正確に行なうことができるX線分光器を提供することを目的としている。【解決手段】電子顕微鏡に搭載されたX線分光器であって、試料から発生した特性X線を回折格子7に導き、該回折格子7で分光したX線の強さを検出してX線分析を行なうX線分光器3において、X線分光器3内に入射される分光X線の内、0次光X線12を遮蔽する0次光遮蔽板13と、該0次光遮蔽板13をX線検出器5のX線分光方向に移動する移動機構と、該移動機構にX線分光器内の真空状態を保持するための保持手段を設けて構成される。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
電子顕微鏡に搭載されたX線分光器であって、試料から発生した特性X線を回折格子に導き、該回折格子で分光したX線の強さを検出してX線分析を行なうX線分光器において、 X線分光器内に入射される分光X線の内、0次光X線を遮蔽する0次光遮蔽板と、 該0次光遮蔽板をX線検出器のX線分光方向に移動する移動機構と、 該移動機構にX線分光器内の真空状態を保持するための保持手段を設けたことを特徴とするX線分光器。
IPC (2)：
H01J 37/252 ,  G01N 23/225
FI (2)：
H01J37/252 A ,  G01N23/225
F-Term (15)：
2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001BA07 ,  2G001BA11 ,  2G001BA30 ,  2G001CA01 ,  2G001CA03 ,  2G001CA10 ,  2G001DA03 ,  2G001DA08 ,  2G001EA01 ,  2G001EA20 ,  2G001KA01 ,  2G001PA07 ,  5C033PP04
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (7)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM