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J-GLOBAL ID：200903072547787567

X線分光器を備えた透過型電子顕微鏡

Inventor：
寺内 正己

About 寺内 正己


Applicant, Patent owner：
日本電子株式会社

About 日本電子株式会社

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寺内 正己

About 寺内 正己


Agent (1)： 蛭川 昌信 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001326066
Publication number (International publication number)：2002329473
Application date： Oct. 24, 2001
Publication date： Nov. 15, 2002
Summary：
【要約】【課題】 コンパクトな光学系で高分解能なX線分光器を備えた透過型電子顕微鏡を提供する。【解決手段】 真空ポンプで排気され、不等間隔回折格子(12)が配置されるとともに、端部にベローズ(13)を介して背面照射型CCD検出器(14)が取り付けられた分光器チャンバー(11)を有するX線分光器(10)をゲートバルブ(4)を介して鏡筒(2)に取り付けた透過型電子顕微鏡(1)であって、電子線が照射された試料から放出される特性軟X線を不等間隔回折格子面の法線に対して大きな角度で斜め入射させ、その回折X線を背面照射型CCD検出器で検出するようにしたものである。
Claim (excerpt)：
真空ポンプで排気され、不等間隔回折格子が配置されるとともに、端部にベローズを介して背面照射型CCD検出器が取り付けられた分光室を有するX線分光器をゲートバルブを介して鏡筒に取り付けた透過型電子顕微鏡であって、電子線が照射された試料から放出される特性軟X線を不等間隔回折格子面の法線に対して大きな角度で斜め入射させ、その回折X線を背面照射型CCD検出器で検出することを特徴とするX線分光器を備えた透過型電子顕微鏡。
IPC (6)：
H01J 37/244 ,  G01N 23/04 ,  G21K 1/06 ,  G21K 5/04 ,  H01J 37/252 ,  H01J 37/26
FI (6)：
H01J 37/244 ,  G01N 23/04 ,  G21K 1/06 G ,  G21K 5/04 M ,  H01J 37/252 A ,  H01J 37/26
F-Term (20)：
2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001BA11 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001DA10 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001HA09 ,  2G001HA13 ,  2G001JA03 ,  2G001JA05 ,  2G001JA06 ,  2G001KA13 ,  5C033NN04 ,  5C033NP02 ,  5C033NP03 ,  5C033NP06 ,  5C033PP04 ,  5C033SS04
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (14)
  • 電子顕微鏡
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-274602   Applicant：株式会社日立製作所
  • 分析電子顕微鏡及び分析方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-031917   Applicant：株式会社日立製作所
  • 分光器
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-318832   Applicant：株式会社島津製作所
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