感放射線性樹脂組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：福沢俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997074717
Publication number (International publication number)：1998254139
Application date： Mar. 12, 1997
Publication date： Sep. 25, 1998
Summary：

【要約】【課題】化学増幅型レジストとして、特に放射線に対する透明性、ドライエッチング耐性、膜厚均一性が優れ、しかも基板接着性、感度、解像度、現像性等にも優れたレジストパターンを与える感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、(A)主鎖および/または側鎖に脂環式骨格を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸開裂性基含有樹脂からなり、該酸開裂性基が開裂したときアルカリ可溶性となる樹脂、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)直鎖状ケトンと、環状ケトン、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテートおよび2-ヒドロキシプロピオン酸アルキルの群から選ばれる少なくとも1種との混合物からなる溶剤を含有する。

Claim (excerpt)：

(A)主鎖および/または側鎖に脂環式骨格を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸開裂性基含有樹脂からなり、該酸開裂性基が開裂したときにアルカリ可溶性となる樹脂、(B)放射線の照射により酸を発生する感放射線性酸発生剤、並びに(C)直鎖状ケトンと、環状ケトン、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテートおよび2-ヒドロキシプロピオン酸アルキルの群から選ばれる少なくとも1種との混合物からなる溶剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (4)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

FI (4)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 A , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

感光性樹脂組成物およびパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-334643 Applicant：日本電気株式会社
感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-220704 Applicant：日本合成ゴム株式会社
感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-253741 Applicant：日本合成ゴム株式会社

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Cited by examiner (7)

感光性樹脂組成物およびパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-334643 Applicant：日本電気株式会社
感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-220704 Applicant：日本合成ゴム株式会社
レジスト塗布組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-276290 Applicant：日本合成ゴム株式会社

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