円筒型電子源を用いた冷陰極及びその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：平木祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999204343
Publication number (International publication number)：2001035351
Application date： Jul. 19, 1999
Publication date： Feb. 09, 2001
Summary：

【要約】【課題】直径及び長さが均一な、配列制御されたカーボンナノチューブを用いた冷陰極を提供する。【解決手段】電界放出電子源が絶縁性の電子放出基体と導電性の円筒型電子源から構成され、前記電子放出基体が一方の第1の表面からもう一方の第2の表面に貫通した細孔を有し、円筒型電子源が前記貫通した細孔に充填され、第1の表面にゲート電極7が配設され、第2の表面にカソード電極4が配設される。円筒型電子源は、カーボンナノチューブ、カーボンファイバー、ダイアモンドライクカーボン、グラファイト、フラーレン又はボロンナイトライドとする。

Claim (excerpt)：

膜厚方向に貫通する多数の細孔を有する絶縁性の電子放出基体と、前記電子放出基体の前記細孔に充填された導電性の円筒型電子源と、前記電子放出基体の一方の表面に前記細孔の開口部を避けるようにして配設されたゲート電極と、前記電子放出基体の他方の表面に前記細孔に充填された円筒型電子源と接触して配設されたカソード電極とを含むことを特徴とする冷陰極。

IPC (4)：

H01J 1/304 , H01J 9/02 , H01J 29/04 , H01J 31/12

FI (4)：

H01J 1/30 F , H01J 9/02 B , H01J 29/04 , H01J 31/12 C

F-Term (11)：

5C031DD09 , 5C031DD17 , 5C031DD19 , 5C036EE02 , 5C036EE14 , 5C036EF01 , 5C036EF06 , 5C036EF09 , 5C036EG12 , 5C036EH06 , 5C036EH08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

電子放出素子及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-015629 Applicant：株式会社リコー
特開平4-036922
パッキング密度の高い電子放出デバイスの構造及び製造方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平7-508713 Applicant：シリコン・ビデオ・コーポレイション

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