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J-GLOBAL ID：200903003653767751

微小熱分析用プローブおよび微小熱分析装置ならびに微小熱分析方法

Inventor：
中別府 修

About 中別府 修


Applicant, Patent owner：
国立大学法人東京工業大学

About 国立大学法人東京工業大学


Agent (1)： 磯野 道造
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004296994
Publication number (International publication number)：2006105935
Application date： Oct. 08, 2004
Publication date： Apr. 20, 2006
Summary：
【課題】 ナノグラムオーダーの微量な試料を高速かつ高分解能で熱分析できる微小熱分析用プローブおよび微小熱分析装置ならびに微小熱分析方法を提供することを目的とする。【解決手段】 基板と、前記基板上に微細加工法によって形成された熱分析部を備える微小熱分析用プローブであって、前記熱分析部は、前記基板上に形成された試料加熱部と、前記試料加熱部に近接して形成された薄膜状発熱体からなる主加熱ヒータ部と、前記試料加熱部と主加熱ヒータ部との間に介設された薄膜状熱電対からなる温度測定部と、を含むことを特徴とする微小熱分析用プローブ。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
基板と、前記基板上に微細加工法によって形成された熱分析部を備える微小熱分析用プローブであって、 前記熱分析部は、 前記基板上に形成された試料加熱部と、 前記試料加熱部に近接して形成された薄膜状発熱体からなる主加熱ヒータ部と、 前記試料加熱部と主加熱加熱ヒータ部との間に介設された薄膜状熱電対からなる温度測定部と、 を含むことを特徴とする微小熱分析用プローブ。
IPC (2)：
G01N 25/20 ,  G01N 25/00
FI (2)：
G01N25/20 D ,  G01N25/00 K
F-Term (14)：
2G040AB12 ,  2G040BA25 ,  2G040CA02 ,  2G040DA03 ,  2G040DA12 ,  2G040DA21 ,  2G040EA02 ,  2G040EA13 ,  2G040EB02 ,  2G040EC08 ,  2G040EC09 ,  2G040FA01 ,  2G040HA06 ,  2G040ZA02
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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