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J-GLOBAL ID：200903024185853260

発熱型薄膜素子センサとその製造方法

Inventor：
小幡 勤

About 小幡 勤


Applicant, Patent owner：
北陸電気工業株式会社

About 北陸電気工業株式会社


Agent (1)： 廣澤 勲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998064243
Publication number (International publication number)：1999251104
Application date： Feb. 27, 1998
Publication date： Sep. 17, 1999
Summary：
【要約】【課題】 熱分布に偏りが少なく、耐久性及び検知精度が高い発熱型薄膜素子センサとその製造方法を提供する。【解決手段】 半導体の基板10の下方に開口した空洞部14と、この基板10の表面側に絶縁層13を介して形成された導電膜16と、この導電膜16と絶縁層13を介して反対側の空洞部内14に発熱部20を有する。発熱部20と導電膜16との間に、絶縁層12,13を介して多結晶Si等の熱伝導率の良い均熱層15を備える。
Claim (excerpt)：
基板の下方に開口した空洞部と、この基板の表面側に絶縁層を介して形成された導電膜と、この導電膜と上記絶縁層を介して反対側の上記空洞部内に形成された発熱部と、上記発熱部と上記導電膜との間に絶縁層を介して設けられた熱伝導率の良い均熱層とを備えた発熱型薄膜素子センサ。
IPC (3)：
H01C 7/00 ,  G01N 25/18 ,  G01F 1/68
FI (4)：
H01C 7/00 D ,  H01C 7/00 X ,  G01N 25/18 K ,  G01F 1/68
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
  • フローセンサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-091600   Applicant：木村光照, リコー精器株式会社
  • 半導体製造用サセプタおよびその製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-299368   Applicant：京セラ株式会社
  • 電気調理器
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-099938   Applicant：株式会社日立ホームテック
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