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J-GLOBAL ID:200903003829139515
光放射圧による微粒子の保持方法および変位測定方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
山川 政樹
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996125488
Publication number (International publication number):1997304266
Application date: May. 21, 1996
Publication date: Nov. 28, 1997
Summary:
【要約】【課題】 保持する対象に応じた高効率の光放射圧による微粒子の保持方法、およびトラップされた微粒子の変位を高速にかつ高分解能で測定できる変位測定方法を提供することを目的とする。【解決手段】 平行光ビームを変倍レンズ群を通過させた後に光軸上で対向させた2つのコーンレンズからなるコーンレンズ組を通過させることにより、光軸を中心とする中央部の光強度分布がその周辺部よりも小さいリング形状ビームにし、この変倍レンズ群の倍率またはコーンレンズ組のレンズ間距離を変化させることによりリング形状のトラッピング用光ビームのリング幅またはビーム径を可変とした。また、トラッピング用光ビームと変位測定用光ビームに異なる波長を持ったビームを用い、臨界角法によって微粒子の変位を測定することとした。
Claim (excerpt):
トラッピング用光ビームを集光レンズで絞って微粒子に照射する光放射圧による微粒子の保持方法において、前記トラッピング用光ビームは、平行光ビームを変倍レンズ群を通過させた後に光軸上で対向させた2つのコーンレンズからなるコーンレンズ組を通過させて光軸を中心とする中央部の光強度分布がその周辺部よりも小さいリング形状ビームにし、前記変倍レンズ群の倍率または前記コーンレンズ組のレンズ間距離を変化させることにより前記リング形状ビームのリング幅またはビーム径を可変とすることを特徴とする光放射圧による微粒子の保持方法。
IPC (4):
G01N 15/14
, G01B 11/00
, H01S 3/00
, H01S 3/101
FI (4):
G01N 15/14 A
, G01B 11/00 F
, H01S 3/00 A
, H01S 3/101
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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レーザトラツピング方法及び装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-120715
Applicant:河田聡, 南茂夫
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レーザスキャン光学系及びレーザスキャン光学装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-121481
Applicant:浜松ホトニクス株式会社
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光触針利用による表面測定方法および装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-098125
Applicant:日本電信電話株式会社
-
微小物体捕捉装置、検査、および採取装置、並びに微小物体捕捉方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-151983
Applicant:株式会社ニコン
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顕微鏡観察のための微調整方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-238571
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
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レーザトラッピング装置とそれに使用するプリズム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-062757
Applicant:株式会社モリテックス, 新技術事業団
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光による微粒子操作装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-388933
Applicant:株式会社ニコン
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