角速度センサ及びその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：恩田博宣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998053796
Publication number (International publication number)：1999248733
Application date： Mar. 05, 1998
Publication date： Sep. 17, 1999
Summary：

【要約】【課題】新規な構成にて精度よく角速度を検出することができる角速度センサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】シリコン基板1に形成した貫通孔により、梁8a〜8dを有し基板1の表面に平行な方向に励振するアウター側構造体100が区画されるとともに、構造体100に形成した貫通孔36〜39により、梁43,44を有し角速度により基板1の表面に平行な方向での励振方向Yに直交するX方向に移動するインナー側構造体200が区画されている。構造体100の角速度検出用固定電極48a〜48f,49a〜49fおよびこの固定電極48a〜48f,49a〜49fに対向するインナー側構造体200の角速度検出用可動電極46a〜46c,47a〜47cが、構造体100に形成した貫通孔内の絶縁体50a〜50f,51a〜51f,57,58によって電気的に分離されている。

Claim (excerpt)：

半導体基板に形成した貫通孔により、梁を有し半導体基板の表面に平行な方向に励振するアウター側構造体を区画するとともに、前記アウター側構造体に形成した貫通孔により、梁を有し角速度により半導体基板の表面に平行な方向での前記励振方向に直交する方向に移動するインナー側構造体を区画し、さらに、アウター側構造体の角速度検出用固定電極およびこの固定電極に対向する前記インナー側構造体の角速度検出用可動電極を、アウター側構造体に形成した貫通孔内の絶縁体によって、電気的に分離したことを特徴とする角速度センサ。

IPC (2)：

G01P 9/04 , G01C 19/56

FI (2)：

G01P 9/04 , G01C 19/56

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

角速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-054914 Applicant：株式会社村田製作所
集積マイクロメカニカルセンサデバイス及びその製造方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平7-509491 Applicant：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
静電容量型センサおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-173849 Applicant：株式会社村田製作所

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