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J-GLOBAL ID：200903004291977503

ポジ型感光性樹脂組成物およびその硬化物

Inventor：
猪俣 克巳

About 猪俣 克巳

, 
伊藤 淳史

About 伊藤 淳史

, 
横山 健一

About 横山 健一

, 
岩永 伸一郎

About 岩永 伸一郎


Applicant, Patent owner：
JSR株式会社

About JSR株式会社


Agent (4)： 鈴木 俊一郎 ,  牧村 浩次 ,  高畑 ちより ,  鈴木 亨
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003028857
Publication number (International publication number)：2004240144
Application date： Feb. 05, 2003
Publication date： Aug. 26, 2004
Summary：
【課題】解像性、熱衝撃性に優れるとともに、良好な密着性を有する硬化物が得られるポジ型感光性樹脂組成物を得ること。【解決手段】ポジ型感光性樹脂組成物は、一般式(1)で表される共重合体(A)、キノンジアジド基を有する化合物(B)、分子中に少なくとも2つ以上のアルキルエーテル化されたアミノ基を含有する化合物(C)、熱感応性酸発生剤(D)および有機溶剤(E)を含有することを特徴としている。(X)m1-(Y)n-(X)m2 (1)(Xは、下記式(2)で示される構成単位を10重量%以上の量で含む構成単位であり、式中Rは、水素原子または炭素数1〜4のアルキル基を表す。Yは、Yを構成単位とする(共)重合体のガラス転移温度(Tg)が0°C以下となるような炭素-炭素二重結合化合物から導かれる構成単位。【選択図】なし
Claim (excerpt)：
(A)下記一般式(1)で示されるブロック共重合体、(B)キノンジアジド基を有する化合物、(C)分子中に少なくとも2つ以上のアルキルエーテル化されたアミノ基を有する化合物、(D)熱感応性酸発生剤、および(E)溶剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。 (X)m1-(Y)n-(X)m2 (1) (Xは、下記式(2)で示される構成単位を10重量%以上の量で含み、Xを構成単位とする(共)重合体のガラス転移温度(Tg)が10°C以上である構成単位であり、
IPC (4)：
G03F7/023 ,  C08F297/04 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027
FI (4)：
G03F7/023 ,  C08F297/04 ,  G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R
F-Term (37)：
2H025AA02 ,  2H025AA10 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE01 ,  2H025CB11 ,  2H025CB16 ,  2H025CB17 ,  2H025CB28 ,  2H025CB45 ,  2H025CB60 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J026HA08 ,  4J026HA20 ,  4J026HA26 ,  4J026HA32 ,  4J026HA39 ,  4J026HB15 ,  4J026HB16 ,  4J026HB26 ,  4J026HB32 ,  4J026HB39 ,  4J026HB45 ,  4J026HB50 ,  4J026HC08 ,  4J026HC20 ,  4J026HC26 ,  4J026HC32 ,  4J026HC39 ,  4J026HC45 ,  4J026HE02 ,  4J026HE04
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (4)
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (1)
  • 化学大辞典6, 19760910, 縮刷版, 第847頁

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