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Pat
J-GLOBAL ID:200903004815149409

ウエハのアライメント方法

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Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 和田 昭
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004252127
Publication number (International publication number):2006073603
Application date: Aug. 31, 2004
Publication date: Mar. 16, 2006
Summary:
【課題】 ウエハの外周部分にテープ類がはみ出していても、ウエハの外周のみを認識でき、精度のよいアライメントを行うことができ、しかも、ウエハを破損させたりゴミを生じることなくアライメントできるウエハのアライメント方法を提供する。【解決手段】 少なくとも表面に保護テープ2が貼り付けられたウエハ1を吸着回転テーブル21で保持して回転させ、赤外線照射ユニット22の赤外線発光素子23とCCDカメラ24を用い、上記ウエハ1の外周部を赤外線によって非接触で検出してアライメントする。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
少なくとも表面に保護テープが貼り付けられたウエハを保持して回転させ、このウエハの外周部を赤外線を用いて非接触で検出してアライメントするウエハのアライメント方法。
IPC (3):
H01L 21/68 ,  H01L 21/677 ,  B65G 49/07
FI (3):
H01L21/68 M ,  H01L21/68 C ,  B65G49/07 H
F-Term (24):
5F031CA02 ,  5F031DA15 ,  5F031DA20 ,  5F031EA10 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA30 ,  5F031GA28 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031HA12 ,  5F031HA59 ,  5F031JA04 ,  5F031JA05 ,  5F031JA35 ,  5F031KA14 ,  5F031MA34 ,  5F031MA37 ,  5F031MA38 ,  5F031PA20 ,  5F031PA23
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2) Cited by examiner (3)

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