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J-GLOBAL ID：200903004816931348

プレーナ型アクチュエータ及びその製造方法

Inventor：
上田 譲

About 上田 譲


Applicant, Patent owner：
日本信号株式会社

About 日本信号株式会社


Agent (1)： 笹島 富二雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002072026
Publication number (International publication number)：2003270555
Application date： Mar. 15, 2002
Publication date： Sep. 25, 2003
Summary：
【要約】【課題】 電磁力を利用して内外の可動板を揺動動作する2次元走査型のプレーナ型アクチュエータにおける外内の可動板の共振周波数比を大きくして、光をラスタ走査できるようにする。【解決手段】 外側可動板23を軸支する外側トーションバー22を、剛性が低く共振周波数の低いポリイミドで形成し、内側可動板25を軸支する内側トーションバー24を、ポリイミドより剛性が高く共振周波数の高いシリコンで形成する。このように、外側トーションバー22と内側トーションバー24とを剛性の異なる材料で形成することにより、共振周波数比を大きくできる。
Claim (excerpt)：
固定部に外側トーションバーで揺動可能に軸支した枠状の外側可動板と、該外側可動板に前記外側トーションバーと軸方向が直交する内側トーションバーで揺動可能に軸支した内側可動板と、前記各可動板を駆動する駆動手段とを備えたアクチュエータにおいて、前記外側トーションバーと内側トーションバーを剛性の異なる材料で形成したことを特徴とするプレーナ型アクチュエータ。
IPC (3)：
G02B 26/08 ,  B81B 3/00 ,  G02B 26/10 104
FI (3)：
G02B 26/08 E ,  B81B 3/00 ,  G02B 26/10 104 Z
F-Term (14)：
2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC04 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB06 ,  2H045AB10 ,  2H045AB13 ,  2H045AB16 ,  2H045AB38 ,  2H045AB43 ,  2H045AB73 ,  2H045BA13 ,  2H045CB65
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
  • アクチュエータ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-115643   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
  • 微細加工捩り振動子の動的特性の調整
    Gazette classification：公表公報   Application number：特願平10-542011   Applicant：クセロス・インク
  • 光スキャナ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-261270   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
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Cited by examiner (4)
  • アクチュエータ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-115643   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
  • 微細加工捩り振動子の動的特性の調整
    Gazette classification：公表公報   Application number：特願平10-542011   Applicant：クセロス・インク
  • 光スキャナ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-261270   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
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