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J-GLOBAL ID：200903004915316078

スロットアンテナを用いたカーボンナノチューブ薄膜形成ECRプラズマCVD装置及び該薄膜の形成方法

Inventor：
阿川 義昭

About 阿川 義昭

, 
山口 広一

About 山口 広一


Applicant, Patent owner：
株式会社アルバック

About 株式会社アルバック


Agent (1)： 北村 欣一 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000108319
Publication number (International publication number)：2001295047
Application date： Apr. 10, 2000
Publication date： Oct. 26, 2001
Summary：
【要約】【課題】 手間がかからず、カーボンナノチューブの生産能力が高く、電力の消費量が低く、製造コストの安い、スロットアンテナを用いたカーボンナノチューブ薄膜形成ECRプラズマCVD装置及び該薄膜の形成方法の提供。【解決手段】 ECRプラズマCVD装置において、マイクロ波発生システムの下流側に少なくとも1つのスロットアンテナを設け、マイクロ波がスロットアンテナから成膜室内に導入されるように構成する。この装置を用いて、炭素含有ガスと水素ガスとの混合ECRプラズマを発生させ、基板上に均一なかつ基板に対して垂直方向なカーボンナノチューブ薄膜を形成する。
Claim (excerpt)：
成膜室と、該成膜室内に設置された基板ホルダーと、該成膜室内に炭素含有ガス及び水素ガスを供給するためのガス供給系と、該基板ホルダーに接続されたバイアス電源と、該成膜室内にECRプラズマを発生させるためのマイクロ波発生システムとを有し、該マイクロ波発生システムの下流側に少なくとも1つのスロットアンテナが設けられ、マイクロ波が該スロットアンテナを経て該成膜室内に導入されるように構成されていることを特徴とするスロットアンテナを用いたカーボンナノチューブ薄膜形成ECRプラズマCVD装置。
IPC (4)：
C23C 16/26 ,  B01J 19/12 ,  C01B 31/02 101 ,  C23C 16/511
FI (4)：
C23C 16/26 ,  B01J 19/12 G ,  C01B 31/02 101 F ,  C23C 16/511
F-Term (31)：
4G046CA02 ,  4G046CB01 ,  4G046CC06 ,  4G046CC09 ,  4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075AA62 ,  4G075BA06 ,  4G075BC04 ,  4G075BD14 ,  4G075CA02 ,  4G075CA26 ,  4G075CA47 ,  4G075CA57 ,  4G075CA62 ,  4G075EB44 ,  4G075EC21 ,  4G075EC30 ,  4G075FB02 ,  4K030AA09 ,  4K030AA10 ,  4K030AA17 ,  4K030BA27 ,  4K030BB11 ,  4K030CA02 ,  4K030FA02 ,  4K030GA02 ,  4K030JA16 ,  4K030KA20 ,  4K030KA30 ,  4K030KA45
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (6)
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Cited by examiner (6)
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