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J-GLOBAL ID：200903057888280224

走査型近接場光学顕微鏡

Inventor：
小灘 毅

About 小灘 毅


Applicant, Patent owner：
オリンパス光学工業株式会社

About オリンパス光学工業株式会社


Agent (1)： 篠原 泰司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997101841
Publication number (International publication number)：1998293133
Application date： Apr. 18, 1997
Publication date： Nov. 04, 1998
Summary：
【要約】【課題】複数のプローブを、切換機構によって、走査可能状態に択一的に切り換えることを可能にし走査型近接場光学顕微鏡を提供すること。【解決手段】プローブ5の先端は、試料1に所定の間隔を空けて配置され、試料ステージ2が走査用スキャナ4によって動かされることにより、試料1の走査が可能になっている。光源3から照射され、試料1を透過した光は、試料1の表面近傍でプローブ5に取り込まれ、集光光学系6,ピンホール7を介して光検出器8で検出され、コンピュータ10で信号処理された後、走査型近接場光学顕微鏡像としてモニタ11に画像化されるようになっている。切換機構15のスライド部材15bには、複数のプローブ5が、夫々のアタッチメント16を介して取り付けられ、スライド部材15bがコントローラ9を介して動かされると、所定のプローブ5が走査可能状態に切り換えられるようになっている。
Claim (excerpt)：
プローブと試料とを近接して配置し、それらを試料の表面に対して略平行な方向に相対的に移動させることによって試料の表面の近傍を走査し、該プローブを介して得た光を検出器で検出することによって試料の光学特性を測定するようにした走査型近接場光学顕微鏡において、複数のプローブを同時にセットすることのできる切換機構が備えられていて、該切換機構は、それらのプローブを、走査可能状態に、択一的に切り換えて配置させることが可能であるようにしたことを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡。
IPC (2)：
G01N 37/00 ,  G01B 11/30
FI (3)：
G01N 37/00 D ,  G01N 37/00 E ,  G01B 11/30 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
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