サックバックバルブ

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：千葉剛宏 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997068758
Publication number (International publication number)：1998267146
Application date： Mar. 21, 1997
Publication date： Oct. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】サックバックバルブによって吸引される流体の量が変化することを防止し、ダイヤフラムの応答性が向上すると共にその変位量、変位速度を正確に制御することが可能なサックバックバルブを提供する。【解決手段】流体通路62の内部に向かって変位可能に設けられたダイヤフラム72は、第1の薄膜体74と、該第1の薄膜体74に重ね合わされた第2の薄膜体80から構成され、第1の薄膜体74は、通路116を介して室114に接続された負圧発生源240の付勢作用下に第2の薄膜体80に画成された小孔84を介して該第2の薄膜体80に吸着され、前記第1の薄膜体74は第2の薄膜体80によってその形状が保持される。

Claim (excerpt)：

第1のポートおよび第2のポートが形成され、前記第1のポートと第2のポートとを連通させる流体通路を有する弁ボデイと、前記弁ボデイに画成された室内に変位可能に設けられたダイヤフラムと、前記ダイヤフラムを変位させるアクチュエータと、を備え、前記アクチュエータの駆動作用下に前記ダイヤフラムが変位することにより、前記流体通路を流通する流体が吸引され、一方、負圧発生源の付勢作用下に前記弁ボデイに設けられた通路を介して前記室に導入される負圧によって、前記ダイヤグラムが変位方向と同方向に吸引されることを特徴とするサックバックバルブ。

IPC (2)：

F16K 23/00 , F16K 7/14

FI (2)：

F16K 23/00 , F16K 7/14 B

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (9)

弁装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-226028 Applicant：日本バルカー工業株式会社, バルカーセイキ株式会社
吸い戻し弁
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-248665 Applicant：シーケーディ株式会社, 株式会社イワキ
温度調整回路付き薬液弁
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-359778 Applicant：株式会社東芝, シーケーディ株式会社

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Cited by examiner (9)

弁装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-226028 Applicant：日本バルカー工業株式会社, バルカーセイキ株式会社
吸い戻し弁
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-248665 Applicant：シーケーディ株式会社, 株式会社イワキ
温度調整回路付き薬液弁
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-359778 Applicant：株式会社東芝, シーケーディ株式会社

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