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J-GLOBAL ID：200903005374141594

エアギャップを有するマイクロマシン静電アクチュエータ

Inventor：
グッドウィン-ヨハンソン,スコット・ホールデン

About グッドウィン-ヨハンソン,スコット・ホールデン


Applicant, Patent owner：
エムシーエヌシー

About エムシーエヌシー


Agent (1)： 奥山 尚一 (外2名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001500902
Publication number (International publication number)：2003501274
Application date： May. 19, 2000
Publication date： Jan. 14, 2003
Summary：
【要約】より低くより予測可能な動作電圧で動作するMEMS静電装置を提供する。静電アクチュエータ、電磁放射線の静電減衰器、及び電磁放射線を減衰する方法を提供する。改善された動作電圧特性は、静電装置内の基板電極とフレキシブル複合材電極との間に増大しないエアギャップを定めることによって実現される。エレクトロメカニカル基板上に重なる多層のフレキシブル複合材の中間部分は、静電力の印加に関係なく所定に位置に保持され、定められたエアギャップが維持される。中間部分が片持されるときに、エアギャップが、下に横たわるマイクロ電子面からの分離について比較的一定である実施態様を提供する。あるいは、中間部分が下に横たわるマイクロ電子面に近づいて接触するときにゼロまで減少するエアギャップが与えられる実施態様も更に提供する。フレキシブル複合材の可動性の末端部分は、複合材層の間の熱膨張係数の違いによって一方に偏って自然にカールする。静電力に応答して、末端部分が動いて、その結果、フレキシブル複合材が下に横たわるマイクロ電子面から離れる距離が変化する。中間部分において一方への偏りを制御するための構造と技術、そして結果として生じるエアギャップを提供する。静電装置は、電磁放射線の経路を選択的に通過させたり遮ったりするように配置できる。減衰器に使用される材料は、様々なタイプの電磁放射線を通過させたり、反射したり、あるいは吸収したりするよう選択できる。複数の電磁減衰器がアレイに配置され、そして選択的にそのサブセットを作動することができる。
Claim (excerpt)：
静電力によって駆動されるMEMS装置であって、 平らな面を定めるマイクロ電子基板と、 前記基板の表面上に一つの層を形成する基板電極と、 前記基板電極上に横たわり、電極層とバイアス層とを備え、前記下に横たわっている基板に取り付けられた固定部分と、前記基板電極と前記電極層との間に増大しないエアギャップを定める中間部分と、前記基板電極に対して可動性の末端部分と、を有するフレキシブル複合材と、 前記フレキシブル複合材電極から前記基板電極を電気的に分離する絶縁体と、を備えていることを特徴とするMEMS装置。
IPC (3)：
B81B 3/00 ,  G02B 26/02 ,  H02N 1/00
FI (4)：
B81B 3/00 ,  G02B 26/02 E ,  G02B 26/02 J ,  H02N 1/00
F-Term (6)：
2H041AA02 ,  2H041AB14 ,  2H041AB38 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ08
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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