放電式オゾンガス生成方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：金丸章一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003281731
Publication number (International publication number)：2004083401
Application date： Jul. 29, 2003
Publication date： Mar. 18, 2004
Summary：

【課題】放電式オゾナイザーにおけるオゾン収量の増加と安定化を図る。【解決手段】放電式オゾナイザーにおける供給原料ガスとして、高純度酸素ガス中に、Ne,Kr,Xeの一種以上を3.0vol.%以下、又は、水素を2.0vol.%以下のいずれか一方又は双方を添加してなる混合ガスを用いるもの。Ne,Kr,Xeの好ましい添加量は、これらの1種以上で500ppm以上、更に好ましくは0.1〜0.5vol.%である。水素の好ましい添加量は、10ppm以上、更に好ましくは、50ppm〜1.0vol.%である。又、これにArやHeを0.5vol.%以下添加した混合ガスを用いるものや、生成オゾンガスをシリカゲルを充填したオゾン貯蔵容器に供給してオゾンをシリカゲルに吸着・貯蔵させるものもある。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

酸素含有原料ガスを放電式オゾナイザーに供給してオゾンガスを生成させる放電式オゾンガス生成方法において、原料ガスとして、高純度酸素ガス中に、ネオン,クリプトン,キセノンの一種以上を合計で3.0vol.%以下、又は、水素を2.0vol.%以下のいずれか一方又は双方を添加してなる混合ガスを用いる事を特徴とする放電式オゾンガス生成方法

IPC (2)：

C01B13/11 , H01L21/027

FI (2)：

C01B13/11 L , H01L21/30 572

F-Term (8)：

4B021MC01 , 4B021MK02 , 4B021MK13 , 4G042CA01 , 4G042CB01 , 4G042CB15 , 5F046MA05 , 5F046MA13

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

特公平6-21010号公報(特許請求の範囲参照)
オゾン発生設備およびその運転方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-354650 Applicant：富士電機株式会社
オゾンの供給方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-313361 Applicant：日本酸素株式会社

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Cited by examiner (8)

オゾン発生設備およびその運転方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-354650 Applicant：富士電機株式会社
電力貯蔵方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-044792 Applicant：三菱電機株式会社, 東京電力株式会社
オゾン発生方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-039992 Applicant：日本酸素株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

岩波理化学辞典第4版, 19891215, 第4版第4刷, 333頁

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