樹脂エッチング液及びエッチング方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996271676
Publication number (International publication number)：1998097081
Application date： Sep. 20, 1996
Publication date： Apr. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】従来のエッチング液ではエッチングが困難なポリイミド樹脂についてもエッチングが可能なエッチング液、及び各種形態の樹脂の内、特に、ポリイミドフィルムのエッチングに好適なエッチング方法を得る。【解決手段】オキシアルキルアミン及びアルカリ金属化合物を主成分とし、必要に応じて尿素、有機極性溶媒のいずれか一つ又は両方を添加せしめたエッチング液を用いる。なお、このエッチング液は、従来のエッチング液によってはエッチングが困難な、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物とジアミノベンゼンとの重縮合により得られるポリイミド樹脂のエッチングに優先的に用いられ、このような樹脂製のポリイミドフィルムについては、エッチング液中に浸漬し、かつ、超音波を照射してエッチングするのが好ましい。

Claim (excerpt)：

少なくともオキシアルキルアミン及びアルカリ金属化合物を含有していることを特徴とする樹脂エッチング液。

IPC (3)：

G03F 7/40 521 , C08J 7/00 , H05K 3/00

FI (3)：

G03F 7/40 521 , C08J 7/00 A , H05K 3/00 K

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平4-219933
ポリイミドのエッチング液およびその使用方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-020971 Applicant：セントラル硝子株式会社
特開平4-020539

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