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J-GLOBAL ID：200903006638605388
DLC膜の硬度推定装置及び硬度推定方法
Inventor：
,
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,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
磯野 道造
, 多田 悦夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006298393
Publication number (International publication number)：2008116268
Application date： Nov. 02, 2006
Publication date： May. 22, 2008
Summary：
【課題】DLC膜の品質管理等に応用可能であり、非破壊でDLC膜の硬度を推定できるDLC膜の硬度推定装置及び硬度推定方法を提供する。【解決手段】レーザーラマン分光法によりDLC膜のGバンド波形の幅を取得する、レーザーラマン分光装置2と、DLC膜のレーザーラマン分光法によるGバンド波形の幅と、DLC膜の硬度と、が関連付けられたデータベースが記憶されたデータベース記憶手段3と、レーザーラマン分光装置2が取得したDLC膜のGバンド波形の幅と、データベースと、に基づいて、DLC膜の硬度を推定する推定手段4と、を備えたDLC膜の硬度推定装置1である。【選択図】図5
Claim (excerpt)：
レーザーラマン分光法によりDLC膜のGバンド波形の幅を取得する、Gバンド波形幅取得手段と、
DLC膜のレーザーラマン分光法によるGバンド波形の幅と、DLC膜の硬度と、が関連付けられたデータベースと、
前記Gバンド波形幅取得手段が取得したDLC膜のGバンド波形の幅と、前記データベースと、に基づいて、DLC膜の硬度を推定する推定手段と、
を備えたことを特徴とするDLC膜の硬度推定装置。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (10)：
2G043AA03
, 2G043CA07
, 2G043EA03
, 2G043GA25
, 2G043GB28
, 2G043KA02
, 2G043KA05
, 2G043KA09
, 2G043NA01
, 2G043NA06
Cited by applicant (2)
-
特許第3612098号公報
-
特許第3764742号公報
Cited by examiner (3)
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薄膜硬度測定法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2001-315199
Applicant：株式会社島津製作所
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炭素材料の解析方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平9-352112
Applicant：旭硝子株式会社
-
カーボン膜評価方法および磁気記録媒体の製造方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2001-212527
Applicant：ソニー株式会社
Article cited by the Patent：
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