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J-GLOBAL ID：200903006688886787

ホットプレート

Inventor：
添田 真弘

About 添田 真弘

, 
池口 弘

About 池口 弘

, 
筒井 隆司

About 筒井 隆司


Applicant, Patent owner：
株式会社リコー

About 株式会社リコー


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997269352
Publication number (International publication number)：1999097161
Application date： Sep. 16, 1997
Publication date： Apr. 09, 1999
Summary：
【要約】【課題】 ワークのワーク吸着プレートとの接触面を均一に加熱する。【解決手段】 ワーク10を多孔質材のワーク載置プレート3上に載し、吸引口4bに接続された真空ポンプにより排気し、多孔質材料3の微細な空孔でワーク10を吸引して該ワーク10を吸着面3a上に均一に吸着固定する。ワーク10を吸着固定した状態で加熱プレート2をヒータ1により加熱し、ワーク10を均一に加熱する。ワーク吸着面3aの平面精度を高めることによって、ワーク10に歪みがつかず、ワーク10の平面精度を損うことなく吸着することができる。また、ワーク10の性質による吸着状態の変化には、真空ポンプの排気量を調整したり、多孔質材料の粒径を変更することによって対応することができる。
Claim (excerpt)：
多孔質材で形成されかつ表面の平面精度の良いワーク吸着プレートと、該ワーク吸着プレートが載置される凹部と該凹部に連通する吸気口を有するワーク吸着プレート載置台と、該ワーク吸着プレート載置台を加熱する加熱プレートとを有し、前記ワーク吸着プレートの凹部の上にワークを載置し、前記凹部内を前記吸気口を通して吸気して前記ワークを前記ワーク吸着プレートに吸着固定しながら前記加熱プレートを加熱するようにしたことを特徴とするホットプレート。
IPC (2)：
H05B 3/68 ,  G02F 1/13 101
FI (2)：
H05B 3/68 ,  G02F 1/13 101
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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