ホットプレート

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997269352
Publication number (International publication number)：1999097161
Application date： Sep. 16, 1997
Publication date： Apr. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】ワークのワーク吸着プレートとの接触面を均一に加熱する。【解決手段】ワーク10を多孔質材のワーク載置プレート3上に載し、吸引口4bに接続された真空ポンプにより排気し、多孔質材料3の微細な空孔でワーク10を吸引して該ワーク10を吸着面3a上に均一に吸着固定する。ワーク10を吸着固定した状態で加熱プレート2をヒータ1により加熱し、ワーク10を均一に加熱する。ワーク吸着面3aの平面精度を高めることによって、ワーク10に歪みがつかず、ワーク10の平面精度を損うことなく吸着することができる。また、ワーク10の性質による吸着状態の変化には、真空ポンプの排気量を調整したり、多孔質材料の粒径を変更することによって対応することができる。

Claim (excerpt)：

多孔質材で形成されかつ表面の平面精度の良いワーク吸着プレートと、該ワーク吸着プレートが載置される凹部と該凹部に連通する吸気口を有するワーク吸着プレート載置台と、該ワーク吸着プレート載置台を加熱する加熱プレートとを有し、前記ワーク吸着プレートの凹部の上にワークを載置し、前記凹部内を前記吸気口を通して吸気して前記ワークを前記ワーク吸着プレートに吸着固定しながら前記加熱プレートを加熱するようにしたことを特徴とするホットプレート。

IPC (2)：

H05B 3/68 , G02F 1/13 101

FI (2)：

H05B 3/68 , G02F 1/13 101

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

セラミック多層電子部品の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-174396 Applicant：株式会社村田製作所
ワイヤボンディング装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-159083 Applicant：日本電気株式会社
特開平1-216550

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