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J-GLOBAL ID：200903008026484770

電子ビームによる金属表面の処理方法及び装置

Inventor：
和泉 忠美

About 和泉 忠美


Applicant, Patent owner：
株式会社ソディック

About 株式会社ソディック


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007286418
Publication number (International publication number)：2009114482
Application date： Nov. 02, 2007
Publication date： May. 28, 2009
Summary：
【課題】プラズマ電子銃によるエネルギ密度が低く、断面積の大きい電子ビームパルスによって金属の表面改質と表面被覆を一連の作業として実行する装置を提供する。【解決手段】陽極を接地した電子ビーム発射電源から高圧直流パルスを、対向極を陰極、被処理体を陽極として印加することにより対向極から被処理体に向けて電子ビームを発射して被処理体の表面改質を行う工程と、対向極を陽極、被処理体を陰極として印加することにより被処理体から対向極に向けて電子ビームを発射して被処理体の表面に対向極のスパッタ粒子を堆積、被覆する工程とを切換える高圧直流パルスの電圧印加極性切換手段を設ける。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
プラズマ化した電離気体が充填され電気接地したハウジング内に被処理体と対向極とをプラズマ発生用環状電極を介設させて向かい合わせてそれぞれ絶縁配置し、陽極が接地した電子ビーム発射電源から高圧直流パルスを対向極を陰極とし被処理体を陽極として印加することにより、対向極から被処理体に向けて電子ビームを発射して被処理体の表面の改質を行なう工程と、切換えスイッチにより、前記電子ビーム発射電源の高圧直流パルスの出力極性を反転させる工程と、対向極を陽極とし被処理体を陰極として高圧直流パルスを印加することにより被処理体から対向極に向けて電子ビームを発射して被処理体の表面に対向極のスパッタ粒子を堆積させ被覆処理を行なう工程とを一連としてハウジング内で外気に曝すことなく行なう表面処理の方法。
IPC (1)：
C23C 14/24
FI (2)：
C23C14/24 S ,  C23C14/24 T
F-Term (6)：
4K029AA02 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K029DB21 ,  4K029FA01 ,  4K029FA05
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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