表面検査装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：田辺徹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000047949
Publication number (International publication number)：2001235429
Application date： Feb. 24, 2000
Publication date： Aug. 31, 2001
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】小さな異物から大きな異物まで測定できる、広いダイナミックレンジを有する表面検査装置を提供する。【解決手段】表面検査装置が、第1光束と第2光束を発する光源部と、第1光束および第2光束を互いに異なる照射角度により被検査物の表面に照射する第1照射光学系および第2照射光学系と、被検査物と照射光学系の照射光束とを相対的に変位させる変位部と、第1照射光学系および第2照射光学系で照射されて被検査物表面の検査対象から生じる第1光束および第2光束の散乱光を受光する受光光学系と、受光光学系で受光した第1光束の散乱光を第1受光信号に変換する第1受光部41と、受光光学系で受光した第2光束の散乱光を第2受光信号に変換する第2受光部42と、第1受光信号及び第2受光信号に基づき測定信号を形成する信号形成部180とを有する。ダイナミックレンジが互いに異なる第1受光信号と第2受光信号を合成して測定信号を形成する。

Claim (excerpt)：

被検査物の表面に照射するための第1光束と第2光束を発する光源部と、第1光束を第1照射角度により被検査物の表面に照射する第1照射光学系と、第2光束を第1照射角度とは異なる第2照射角度により被検査物の表面に照射する第2照射光学系と、被検査物と照射光学系の照射光束とを相対的に変位させる変位部と、第1照射光学系で照射されて被検査物表面の検査対象から生じる第1光束の散乱光と、第2照射光学系で照射されて被検査物表面の検査対象から生じる第2光束の散乱光を受光する受光光学系と、受光光学系で受光した第1光束の散乱光を第1受光信号に変換する第1受光部と、受光光学系で受光した第2光束の散乱光を第2受光信号に変換する第2受光部と、第1受光信号及び第2受光信号に基づき測定信号を形成する信号形成部とを有し、第1受光部と第2受光部は、それぞれ、ダイナミックレンジが互いに異なる第1受光信号と第2受光信号を形成するものであって、信号形成部は、ダイナミックレンジが互いに異なる第1受光信号と第2受光信号を合成して、測定信号を形成する構成になっていることを特徴とする表面検査装置。

IPC (5)：

G01N 21/956 , G01B 11/30 , G06T 1/00 305 , G06T 1/00 420 , H01L 21/66

FI (5)：

G01N 21/956 A , G01B 11/30 A , G06T 1/00 305 A , G06T 1/00 420 F , H01L 21/66 J

F-Term (80)：

2F065AA49 , 2F065AA61 , 2F065CC19 , 2F065FF15 , 2F065FF41 , 2F065FF67 , 2F065GG04 , 2F065GG05 , 2F065GG23 , 2F065HH04 , 2F065HH12 , 2F065HH14 , 2F065JJ05 , 2F065JJ17 , 2F065LL14 , 2F065LL20 , 2F065LL24 , 2F065LL62 , 2F065MM02 , 2F065MM16 , 2F065NN11 , 2F065PP12 , 2F065QQ03 , 2F065QQ23 , 2F065QQ29 , 2F065SS11 , 2G051AA51 , 2G051AB01 , 2G051AB20 , 2G051AC02 , 2G051BA01 , 2G051BA08 , 2G051BA10 , 2G051BC06 , 2G051CA02 , 2G051CA03 , 2G051CB05 , 2G051CC12 , 2G051DA08 , 2G051EA12 , 2G051EA24 , 4M106AA01 , 4M106CA41 , 4M106DB02 , 4M106DB08 , 4M106DB12 , 4M106DB13 , 4M106DB14 , 4M106DB30 , 4M106DJ04 , 5B047AA12 , 5B047BA01 , 5B047BB08 , 5B047BC05 , 5B047BC07 , 5B047BC09 , 5B047BC12 , 5B047BC14 , 5B047BC23 , 5B047DB01 , 5B047DC02 , 5B047DC20 , 5B057AA03 , 5B057BA15 , 5B057BA19 , 5B057BA29 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB08 , 5B057CB12 , 5B057CB16 , 5B057CC01 , 5B057CE08 , 5B057CH20 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB09 , 5B057DC22 , 5B057DC32

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

表面検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-345736 Applicant：株式会社トプコン
表面検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-336568 Applicant：株式会社トプコン
ウェーハ表面検査方法とその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-323939 Applicant：株式会社トプコン

Show all

Return to Previous Page