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J-GLOBAL ID:200903009307474649

誘電定数測定法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002151665
Publication number (International publication number):2003344466
Application date: May. 27, 2002
Publication date: Dec. 03, 2003
Summary:
【要約】【課題】平衡形円板共振器の片面から誘電定数を測定することができ、これにより、薄層の測定試料を支持基板に形成して誘電定数を測定できる誘電定数測定法を提供する。【解決手段】円形内部導体3を測定試料1、2で挟持し、該測定試料1、2の表面にそれぞれ外部導体4、5を形成してなる平衡形円板共振器Aを、一方の外部導体4に設けられた入力用、出力用の励振口7、8を介してTM0m0モード(m=1,2・・・)で励振させ、その共振周波数と無負荷Qの測定値から、測定試料1、2の比誘電率及び/又は誘電正接を求めることを特徴とする。
Claim (excerpt):
円形内部導体を測定試料で挟持し、該測定試料の表面にそれぞれ外部導体を形成してなる平衡形円板共振器を、一方の前記外部導体に設けられた入力用、出力用の励振口を介してTM0m0モード(m=1,2・・・)で励振させ、その共振周波数と無負荷Qの測定値から、前記測定試料の比誘電率及び/又は誘電正接を求めることを特徴とする誘電定数測定法。
IPC (3):
G01R 27/26 ,  G01N 22/00 ,  H01P 7/08
FI (3):
G01R 27/26 H ,  G01N 22/00 Y ,  H01P 7/08
F-Term (7):
2G028AA01 ,  2G028BC01 ,  2G028BF05 ,  2G028CG09 ,  2G028CG10 ,  5J006HB03 ,  5J006HB15
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (6)
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Cited by examiner (6)
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Article cited by the Patent:
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