非晶質炭素膜、その形成方法、および非晶質炭素膜を備えた高耐摩耗摺動部材

Inventor： , , , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大川宏
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2007523911
Publication number (International publication number)：2008522020
Application date： Nov. 24, 2005
Publication date： Jun. 26, 2008
Summary：

本発明の非晶質炭素膜は、主成分としての炭素と、非晶質炭素膜全体を100at%とした場合に、0.1at%以上10at%以下のケイ素と、を含有する。炭素は、炭素の全体量を100at%とした場合に、60at%以上90at%以下のsp2混成軌道を持つ炭素を含む。また、本発明の非晶質炭素膜の形成方法を開示している。【図】

Claim (excerpt)：

炭素の全体量を100at%とした場合に、60at%以上90at%以下のsp2混成軌道を持つ炭素を含む主成分としての炭素と、非晶質炭素膜全体を100at%とした場合に、0.1at%以上10at%以下のケイ素と、を含有することを特徴とする非晶質炭素膜。

IPC (4)：

C23C 16/26 , C01B 31/02 , C10M 103/02 , C10M 103/06

FI (4)：

C23C16/26 , C01B31/02 101Z , C10M103/02 Z , C10M103/06 E

F-Term (28)：

4G146AA01 , 4G146AA17 , 4G146AB07 , 4G146AC27A , 4G146AC27B , 4G146AC30B , 4G146AD02 , 4G146AD26 , 4G146BA12 , 4G146BA48 , 4G146BC09 , 4G146BC46 , 4H104AA04A , 4H104AA21A , 4H104LA03 , 4H104PA41 , 4H104QA11 , 4K030AA06 , 4K030AA09 , 4K030BA27 , 4K030BB05 , 4K030CA02 , 4K030CA05 , 4K030CA07 , 4K030DA02 , 4K030FA01 , 4K030JA06 , 4K030LA23

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (8)

特開平3-240957号公報
非晶質硬質炭素膜及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-121047 Applicant：株式会社ゼクセル
高耐摩耗性および高耐焼付き性摺動部材およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-145708 Applicant：株式会社豊田中央研究所

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Cited by examiner (6)

高耐摩耗性および高耐焼付き性摺動部材およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-145708 Applicant：株式会社豊田中央研究所
タペット
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-323519 Applicant：川崎重工業株式会社
非晶質硬質炭素膜及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-157465 Applicant：株式会社リケン

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