Pat
J-GLOBAL ID:200903009491548404
無機多孔質分離膜およびその製造方法
Inventor:
,
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
池田 治幸
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005085019
Publication number (International publication number):2006263566
Application date: Mar. 23, 2005
Publication date: Oct. 05, 2006
Summary:
【課題】 ガスや液体の透過性が高く且つ分離性能の高い無機多孔質分離膜およびその製造方法を提供する。【解決手段】 圧力及び周波数を制御したPLD法で一様な開口径の多数の細孔24が配向した中間層16が形成され、その表面やその細孔24内に多孔質の薄膜層18が形成されることから、その細孔24の開口径がその薄膜層18によって縮小される。そのため、微細且つ開口径が一様な細孔が形成される。したがって、水素やアルコール等の処理対象物に合わせて薄膜層18形成後の細孔径を制御することにより、分離性能の高い無機多孔質分離膜10が得られる。しかも、このように細孔径を縮小しても、中間層16の細孔24が配向していることから、配向していない場合に比較して細孔24内をガスや液体が流れるときの流通抵抗が低く留められるので、ガスや液体が通るときの透過速度も高くなる。【選択図】図2
Claim (excerpt):
膜厚方向に配向し且つ貫通する一様な開口径の多数の細孔を備えた無機多孔質膜と、
その無機多孔質膜の表面および前記細孔内の少なくとも一方に形成された多孔質の無機薄膜と
を、含むことを特徴とする無機多孔質分離膜。
IPC (4):
B01D 71/02
, B01D 69/12
, C01B 3/56
, C23C 14/28
FI (5):
B01D71/02
, B01D71/02 500
, B01D69/12
, C01B3/56 Z
, C23C14/28
F-Term (29):
4D006GA01
, 4D006GA41
, 4D006MA03
, 4D006MA07
, 4D006MA08
, 4D006MA09
, 4D006MA22
, 4D006MB01
, 4D006MB04
, 4D006MB09
, 4D006MB10
, 4D006MC03X
, 4D006NA31
, 4D006NA39
, 4D006NA50
, 4D006PA05
, 4D006PB32
, 4D006PB66
, 4G140FA06
, 4G140FB09
, 4G140FC01
, 4G140FE01
, 4K029BA35
, 4K029BA46
, 4K029BA58
, 4K029BB07
, 4K029BC00
, 4K029DB20
, 4K029EA03
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (11)
-
特許第2972876号公報
-
特許第2976010号公報
-
特許第3122758号公報
-
メソポーラスシリカ、メソポーラスシリカ複合体及びそれらの製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-033191
Applicant:日本碍子株式会社, 上山惟一
-
ガラス多孔質膜
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-157773
Applicant:株式会社トクヤマ
-
水素ガス分離フィルタおよびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-309649
Applicant:京セラ株式会社
-
水素ガス分離フィルタおよびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-366968
Applicant:京セラ株式会社
-
配向性薄膜作製法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-340218
Applicant:科学技術振興事業団
-
流体制御装置及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-363129
Applicant:キヤノン株式会社
-
特開昭62-279806
-
流体分離フィルタおよびその製造方法と燃料電池システム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-194565
Applicant:株式会社豊田中央研究所
Show all
Cited by examiner (2)
-
流体制御装置及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-363129
Applicant:キヤノン株式会社
-
特開昭62-279806
Return to Previous Page