共重合体樹脂とその製造方法、前記共重合体樹脂を含むフォトレジストとその製造方法、および半導体素子

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：荒船博司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998240368
Publication number (International publication number)：1999171935
Application date： Aug. 26, 1998
Publication date： Jun. 29, 1999
Summary：

【要約】【課題】 TMAH現像液に耐える物性を有するフォトレジストを提供する。【解決手段】脂肪族環状オレフィン系単量体と、マレイミド系単量体とを共重合して得られた下記一般式(I)の共重合体樹脂と、これを含有するフォトレジストである。【化1】前記式中、R1は炭素数1〜10の1級、2級または3級の脂肪族アルコールを表す。

Claim (excerpt)：

脂肪族環状オレフィン系単量体と、マレイミド系単量体とを共重合して得られた下記一般式(I)の共重合体樹脂。【化1】前記式中、R1は炭素数1〜10の1級、2級または3級の脂肪族アルコールを表す。

IPC (6)：

C08F222/06 , C08F 2/06 , C08F232/08 , G03F 7/004 503 , G03F 7/039 601 , C07D207/448

FI (6)：

C08F222/06 , C08F 2/06 , C08F232/08 , G03F 7/004 503 A , G03F 7/039 601 , C07D207/448

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平2-146045
特にフォトレジストのためのマレイミドコポリマー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-335601 Applicant：チバ-ガイギーアクチエンゲゼルシャフト, オーシージーマイクロエレクトロニックマテリアルズアクチエンゲゼルシヤフト
酸不安定ペンダント基を持つ多環式ポリマーからなるフォトレジスト組成物
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平9-532033 Applicant：ザビー.エフ.グッドリッチカンパニー

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