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J-GLOBAL ID：200903010269974177

フォトレジストフィルム

Inventor：
村上 滋

About 村上 滋

, 
濱田 康浩

About 濱田 康浩

, 
日向 淳悦

About 日向 淳悦


Applicant, Patent owner：
ニチゴー・モートン株式会社

About ニチゴー・モートン株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004104362
Publication number (International publication number)：2005292289
Application date： Mar. 31, 2004
Publication date： Oct. 20, 2005
Summary：
【課題】 高感度、高解像度であり、かつ、黄色安全灯での保存安定性にも優れ、特には青紫色レーザーを光源とする露光機で露光するのに適したフォトレジストフィルムを提供すること。【解決手段】 カルボキシル基含有ポリマー(A)、エチレン性不飽和化合物(B)、吸収主波長が390nm以下である光重合開始剤(C)を含有する感光性樹脂組成物からなる層[I]と支持フィルム[II]を積層してなるフォトレジストフィルムであって、該感光性樹脂組成物からなる層[I]の硬化前の波長405nmの光線における光透過率が15〜50%であるフォトレジストフィルム。
Claim (excerpt)：
カルボキシル基含有ポリマー(A)、エチレン性不飽和化合物(B)、吸収主波長が390nm以下である光重合開始剤(C)を含有する感光性樹脂組成物からなる層[I]と支持フィルム[II]を積層してなるフォトレジストフィルムであって、該感光性樹脂組成物からなる層[I]の硬化前の波長405nmの光線における光透過率が15〜50%であることを特徴とするフォトレジストフィルム。
IPC (5)：
G03F7/004 ,  G03F7/028 ,  G03F7/032 ,  G03F7/26 ,  H05K3/06
FI (6)：
G03F7/004 512 ,  G03F7/004 507 ,  G03F7/028 ,  G03F7/032 ,  G03F7/26 501 ,  H05K3/06 J
F-Term (38)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB11 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC51 ,  2H025CA01 ,  2H025CA03 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CA44 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025CC15 ,  2H025DA01 ,  2H025DA19 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H096AA26 ,  2H096BA05 ,  2H096BA20 ,  2H096EA04 ,  2H096GA08 ,  2H096LA17 ,  5E339BC02 ,  5E339BD11 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CC02 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CE14 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17 ,  5E339CG04 ,  5E339DD04
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (5)
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