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J-GLOBAL ID：200903010436463490

パターン形成材料、並びにパターン形成装置及び永久パターン形成方法

Inventor：
池田 貴美

About 池田 貴美


Applicant, Patent owner：
富士フイルム株式会社

About 富士フイルム株式会社


Agent (3)： 廣田 浩一 ,  流 良広 ,  松田 奈緒子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005214887
Publication number (International publication number)：2007033685
Application date： Jul. 25, 2005
Publication date： Feb. 08, 2007
Summary：
【課題】 複数レーザー光源に対応可能であり、レーザー波長変化による性能の変動が少なく、高感度であり、かつ高精細なパターンが形成可能なパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いた永久パターン形成方法の提供。 【解決手段】 バインダー、重合性化合物、及び光重合開始剤を少なくとも含む感光性組成物からなる感光層を少なくとも有してなり、前記感光層を露光し現像する場合において、該感光層の露光する部分の厚みを該露光及び現像後において変化させない前記露光に用いる光の最小エネルギーの350〜415nmの波長における下記数式1で表される感度変動率が、50%以下であるパターン形成材料である。<数式1> 感度変動率(%)=〔1-(Emin/Emax)〕×100 ただし、前記数式1中、Eminは、感度の最大値(mJ/cm2)、Emaxは、感度の最小値(mJ/cm2)を表す。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
バインダー、重合性化合物、及び光重合開始剤を少なくとも含む感光性組成物からなる感光層を少なくとも有してなり、 前記感光層を露光し現像する場合において、該感光層の露光する部分の厚みを該露光及び現像後において変化させない前記露光に用いる光の最小エネルギーの350〜415nmの波長における下記数式1で表される感度変動率が、50%以下であることを特徴とするパターン形成材料。 <数式1> 感度変動率(%)=〔1-(Emin/Emax)〕×100 ただし、前記数式1中、Eminは、感度の最大値(mJ/cm2)、Emaxは、感度の最小値(mJ/cm2)を表す。
IPC (6)：
G03F 7/031 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/26 ,  H01L 21/027
FI (7)：
G03F7/031 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/027 515 ,  G03F7/033 ,  G03F7/26 501 ,  H01L21/30 502R
F-Term (20)：
2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC74 ,  2H025CA01 ,  2H025CA20 ,  2H025CA27 ,  2H025CA28 ,  2H025CB10 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB41 ,  2H096AA26 ,  2H096BA05 ,  2H096BA20 ,  2H096EA04 ,  2H096LA16
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 特開昭61-145203号公報
Cited by examiner (11)
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (1)
  • 有機化学・生化学命名法 上, 19920520, 第2版, 第128頁

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