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J-GLOBAL ID：200903010926804139

感放射線性樹脂組成物、樹脂パターン形成方法、樹脂パターン及びその利用

Inventor：
小出村 順司

About 小出村 順司

, 
東 広和

About 東 広和


Applicant, Patent owner：
日本ゼオン株式会社

About 日本ゼオン株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001397644
Publication number (International publication number)：2003195488
Application date： Dec. 27, 2001
Publication date： Jul. 09, 2003
Summary：
【要約】【課題】 比誘電率、耐熱寸法安定性、耐溶剤性、平坦性、塗布均一性、透明性、耐熱変色性及び保存安定性に優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)脂環式オレフィン樹脂、(B)酸発生剤、(C)架橋剤、及び(D)溶剤からなる感放射線性樹脂組成物であって、前記(D)溶剤が2種類以上の異なる溶剤からなる混合溶剤であり、かつ当該混合溶剤中の5〜40重量%が窒素原子又は硫黄原子を含有する非プロトン性極性溶剤(D1)である感放射線性樹脂組成物。
Claim (excerpt)：
(A)脂環式オレフィン樹脂、(B)酸発生剤、(C)架橋剤、及び(D)溶剤からなる感放射線性樹脂組成物であって、前記(D)溶剤が2種類以上の異なる溶剤からなる混合溶剤であり、かつ当該混合溶剤中の5〜40重量%が、窒素原子又は硫黄原子を含有する非プロトン性極性溶剤(D1)である感放射線性樹脂組成物。
IPC (6)：
G03F 7/004 501 ,  C08F 32/00 ,  C08G 61/08 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/032 ,  G03F 7/038 601
FI (6)：
G03F 7/004 501 ,  C08F 32/00 ,  C08G 61/08 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/032 ,  G03F 7/038 601
F-Term (42)：
2H025AA02 ,  2H025AA06 ,  2H025AA10 ,  2H025AB13 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC07 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE01 ,  2H025BE07 ,  2H025CB08 ,  2H025CB42 ,  2H025CB47 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA30 ,  4J032CA34 ,  4J032CA36 ,  4J032CA38 ,  4J032CD02 ,  4J032CG02 ,  4J100AR11P ,  4J100AR17P ,  4J100AR18P ,  4J100AR21P ,  4J100AR22P ,  4J100BA03P ,  4J100BA15P ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100JA37
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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