アクリル系共重合体および感放射線性樹脂組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：和気操
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003375210
Publication number (International publication number)：2004176049
Application date： Nov. 05, 2003
Publication date： Jun. 24, 2004
Summary：

【課題】特定の構造を有するアクリル系共重合体、およびこの共重合体を用いることにより、放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れ、特に、コンタクトホールおよびラインスペース形成時のレジストとして優れる。【解決手段】下記式(4-1)、式(4-2)および式(4-3)で表される繰り返し単位を含むアクリル系共重合体およびこの共重合体を用いた感放射線性樹脂組成物。【化1】【選択図】無

Claim (excerpt)：

下記式(1)、式(2)および式(3)で表される繰り返し単位を含むことを特徴とするアクリル系共重合体。

IPC (4)：

C08F220/28 , G03F7/033 , G03F7/039 , H01L21/027

FI (4)：

C08F220/28 , G03F7/033 , G03F7/039 601 , H01L21/30 502R

F-Term (32)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA09 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025CB45 , 2H025FA17 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100BA03Q , 4J100BA03R , 4J100BA11P , 4J100BA16R , 4J100BA20R , 4J100BC03Q , 4J100BC04Q , 4J100BC07Q , 4J100BC08Q , 4J100BC09Q , 4J100BC09R , 4J100BC53P , 4J100CA05 , 4J100JA38

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

特許第3042618号公報(特許請求の範囲)
レジスト材料及びレジストパターンの形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-050264 Applicant：富士通株式会社
化学増幅型ポジ型レジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-352700 Applicant：住友化学工業株式会社

Show all

Cited by examiner (1)

ポジ型レジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-107305 Applicant：富士写真フイルム株式会社

Return to Previous Page