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J-GLOBAL ID：200903011879239378

表面検査方法および同装置

Inventor：
赤塚 巧

About 赤塚 巧


Applicant, Patent owner：
昭和電工株式会社

About 昭和電工株式会社


Agent (3)： 清水 久義 ,  高田 健市 ,  清水 義仁
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005034199
Publication number (International publication number)：2005257681
Application date： Feb. 10, 2005
Publication date： Sep. 22, 2005
Summary：
【課題】表面欠陥の検出能力に優れた表面検査方法および同装置等を提供する。【解決手段】 検査対象物40の表面欠陥を検出する表面検査方法および同装置。所定の広がりを有する光源15により、検査対象物40表面上の検査対象領域41に向かって拡散光を照射する。光源15と検査対象領域41との間に介在させた遮光体20により、検査対象領域41内に、光源15の一部領域からの光を遮光するが他の領域からの光は遮光しない照明制限領域を形成する。照明制限領域を含む検出領域31を撮像するカメラ30により、遮光体20により遮光される光が、遮光体20がなかった場合には照明制限領域25において正反射してカメラ30に入射する方向から検出領域31を撮像する。【選択図】 図5
Claim (excerpt)：
検査対象物の表面欠陥を検出する表面検査法であって、 所定の広がりを有する光源により、前記検査対象物表面上の検査対象領域に向かって拡散光を照射し、 前記光源と前記検査対象領域との間に介在させた遮光体により、前記検査対象領域内に、前記光源の一部領域からの光を遮光するが他の領域からの光は遮光しない照明制限領域を形成し、 前記照明制限領域を含む検出領域を撮像するカメラにより、前記遮光体により遮光される光が、前記遮光体がなかった場合には前記照明制限領域において正反射してカメラに入射する方向から前記検出領域を撮像することを特徴とする表面検査方法。
IPC (2)：
G01N21/89 ,  G01N21/952
FI (2)：
G01N21/89 Z ,  G01N21/952
F-Term (11)：
2G051AA44 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051BA20 ,  2G051BB01 ,  2G051BB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (2)

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