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J-GLOBAL ID：200903012192774008

ポジ型感光性樹脂組成物

Inventor：
児玉 邦彦

About 児玉 邦彦

, 
佐藤 健一郎

About 佐藤 健一郎

, 
青合 利明

About 青合 利明


Applicant, Patent owner：
富士写真フイルム株式会社

About 富士写真フイルム株式会社


Agent (1)： 萩野 平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999186809
Publication number (International publication number)：2000267287
Application date： Jun. 30, 1999
Publication date： Sep. 29, 2000
Summary：
【要約】【課題】 250nm以下、特に220nm以下の露光光源の使用に好適であり、250nm以下、特に220nm以下の露光光源の使用時に、良好な感度、解像度、密着性及びレジストパターンを与え、更に十分な耐ドライエッチング性を示す現像欠陥の少ないポジ型感光性組成物を提供することである。【解決手段】 活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び特定の脂環式基と酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基とを有する樹脂を含有するポジ型感光性組成物。
Claim (excerpt)：
(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(B)酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する樹脂を含有し、前記樹脂が下記一般式(I)、(II)又は(III)で表される構造の少なくとも1つを含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式(I)〜(III)中、R1 、R2 は、同一または異なって、水素原子、置換基を有していてもよい、直鎖、分岐、環状アルキル基を表し、R1 とR2 が結合して単環または多環を形成してもよい。また、その環の中に酸素原子、硫黄原子、窒素原子、ケトン、エステル、イミド、アミドを連結基として有してもよい。R3 〜R5 は、同一または異なって、水素原子、置換基を有していてもよい、直鎖、分岐、環状アルキル基またはアルコキシ基を表し、R3 〜R5 のうちの二つ又は全てが結合して酸素原子、硫黄原子、窒素原子、ケトン、エステルを連結基として有してもよい単環あるいは多環を形成してもよい。Xは単結合または2価の結合基を表し、XとR1 、R2 のいずれか、又は両方が結合して単環あるいは多環を形成してもよい。Yは酸素原子、硫黄原子、-NH-、-N(OH)-又は-N(アルキル)-を表す。nは1〜3の整数を表す。
IPC (3)：
G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027 ,  C08F 20/26
FI (3)：
G03F 7/039 601 ,  C08F 20/26 ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (47)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA09 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025CB06 ,  2H025CB14 ,  2H025CB15 ,  2H025CB21 ,  2H025CB41 ,  2H025CB52 ,  2H025CB55 ,  2H025CC04 ,  2H025FA17 ,  4J100AJ02P ,  4J100AJ09P ,  4J100AL08P ,  4J100AL39P ,  4J100AL41P ,  4J100AM21P ,  4J100AP01P ,  4J100BA02P ,  4J100BA03P ,  4J100BA05P ,  4J100BA06P ,  4J100BA11P ,  4J100BA15P ,  4J100BA16P ,  4J100BA38P ,  4J100BA51P ,  4J100BA53P ,  4J100BB01P ,  4J100BC03P ,  4J100BC04P ,  4J100BC07P ,  4J100BC09P ,  4J100BC12P ,  4J100BC26P ,  4J100BC53P ,  4J100BC83P ,  4J100CA01 ,  4J100JA37
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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