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J-GLOBAL ID：200903012229580616

表面検査方法および同装置

Inventor： 赤塚 巧
Applicant, Patent owner： 昭和電工株式会社
Agent (4)： 清水 久義 ,  高田 健市 ,  黒瀬 靖久 ,  清水 義仁
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004374638
Publication number (International publication number)：2005208054
Application date： Dec. 24, 2004
Publication date： Aug. 04, 2005
Summary：

【課題】表面欠陥の検出能力に優れた表面検査方法および同装置等を提供する。【解決手段】検査対象物40の表面欠陥を検出する表面検査法。所定の広がりを有する明領域11と、前記明領域11より暗く、前記明領域11と同じまたは異なる所定の広がりを有する暗領域21とが形成されるように、前記検査対象物40の表面41を照明し、前記明領域11と前記暗領域21とこれらの境界領域22とを通過する連続した検出領域31をラインセンサカメラ30によって撮像する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

検査対象物の表面欠陥を検出する表面検査法であって、 所定の広がりを有する明領域と、前記明領域より暗く、前記明領域と同じまたは異なる所定の広がりを有する暗領域とが形成されるように、前記検査対象物の表面を照明し、 前記明領域と前記暗領域とこれらの境界領域とを通過する連続した検出領域をラインセンサカメラによって撮像することを特徴とする表面検査方法。

IPC (2)：

G01N21/88 ,  G01N21/952

FI (2)：

G01N21/88 Z ,  G01N21/952

F-Term (7)：

2G051AA44 ,  2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051BB01 ,  2G051BB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• 表面欠陥検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-215472   Applicant：昭和アルミニウム株式会社
• 表面欠陥検査方法および同検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-262230   Applicant：昭和アルミニウム株式会社
• 円筒物体の欠陥検査装置および方法並びに記憶媒体
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-355466   Applicant：キヤノン株式会社
• 物体表面の欠陥検出方法及び装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-014623   Applicant：松下電工株式会社

Cited by examiner (1)

• 円筒体の表面欠陥検査方法およびその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-270227   Applicant：富士ゼロックス株式会社