Pat
J-GLOBAL ID：200903012244510098

電界発光素子及びその製造方法

Inventor：
定別当 裕康

About 定別当 裕康


Applicant, Patent owner：
カシオ計算機株式会社

About カシオ計算機株式会社


Agent (1)： 杉村 次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997211241
Publication number (International publication number)：1999040371
Application date： Jul. 23, 1997
Publication date： Feb. 12, 1999
Summary：
【要約】【課題】 リソグラフィ工程に伴う電極材料の劣化や有機EL層の劣化を防止してダークスポットの発生を抑え、高寿命な電界発光素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】 有機EL層13上に、MgInでなる第1金属膜14を3nm〜5nm程度の膜厚に蒸着し、その上にAl、Crなどのドライエッチング可能な第2金属膜15を蒸着して積層する。第2金属膜15の上にフォトレジスト16をパターニングして、ドライエッチングを行って第1金属膜14を露出させる。次ぎに、02アッシングを行って、露出部分の第1金属膜14を酸化して高抵抗化させ、実質的に第1金属膜14のパターニングを行う。このように、フォトリソグラフィ技術及びドライエッチング技術を用いて、カソード電極をパターニングできるため、微細なカソード電極を形成することが可能となる。このとき、リソグラフィ工程での現像液や水分が第1金属膜14や有機EL層13へ到達しないため、特性の良好な高寿命な電界発光素子10を実現することができる。
Claim (excerpt)：
有機EL層の両面に電極が設けられた電界発光素子であって、前記有機EL層の一方の面に設けられた前記電極が、当該有機EL層に接合する第1金属膜と、前記第1金属膜より上に積層されるドライエッチング可能な第2金属膜と、を備えることを特徴とする電界発光素子。
IPC (2)：
H05B 33/26 ,  H05B 33/10
FI (2)：
H05B 33/26 ,  H05B 33/10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (12)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM