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J-GLOBAL ID：200903012753500468

酸化物薄膜形成用塗布液およびその製造方法ならびに酸化物薄膜の製造方法

Inventor：
福井 俊巳

About 福井 俊巳


Applicant, Patent owner：
株式会社関西新技術研究所

About 株式会社関西新技術研究所


Agent (1)： 間宮 武雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000047388
Publication number (International publication number)：2001233604
Application date： Feb. 24, 2000
Publication date： Aug. 28, 2001
Summary：
【要約】【課題】 成膜性、耐湿性および長期安定性に優れ、成膜後に塗布膜を低温で焼成でき、良好な膜質の酸化物薄膜を形成することが可能である塗布液を製造するための方法を提供する。【解決手段】 金属アルコキシドを加水分解して、金属酸化物またはその前駆体を含有する塗布液を調製する際に、アルコキシアルコールを含む有機溶剤中で、金属アルコキシドに対するモル比が0.1〜10である量の水により金属アルコキシドを加水分解する。
Claim (excerpt)：
金属酸化物および/またはその前駆体を含有する酸化物薄膜形成用塗布液において、1種もしくは2種以上のアルコキシアルコールを主成分とする溶媒中に0.01重量%〜10重量%の水が含有されたことを特徴とする酸化物薄膜形成用塗布液。
IPC (6)：
C01B 13/14 ,  C01G 23/00 ,  C01G 25/00 ,  C01G 35/00 ,  C09D185/00 ,  H01L 21/316
FI (6)：
C01B 13/14 Z ,  C01G 23/00 Z ,  C01G 25/00 ,  C01G 35/00 D ,  C09D185/00 ,  H01L 21/316 U
F-Term (34)：
4G042DA02 ,  4G042DB10 ,  4G042DB11 ,  4G042DC01 ,  4G042DC03 ,  4G042DD02 ,  4G042DD10 ,  4G042DE09 ,  4G042DE14 ,  4G047CA07 ,  4G047CA08 ,  4G047CC02 ,  4G047CD02 ,  4G047CD07 ,  4G047CD08 ,  4G048AA04 ,  4G048AC02 ,  4G048AD02 ,  4G048AD08 ,  4J038AA011 ,  4J038HA156 ,  4J038HA161 ,  4J038HA166 ,  4J038JA16 ,  4J038JA17 ,  4J038KA06 ,  4J038NA17 ,  4J038NA19 ,  4J038PA19 ,  4J038PB09 ,  5F058BA07 ,  5F058BC03 ,  5F058BF46 ,  5F058BH01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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