プラズマを用いた流体浄化方法および流体浄化装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：特許業務法人太田特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008231474
Publication number (International publication number)：2009078266
Application date： Sep. 09, 2008
Publication date： Apr. 16, 2009
Summary：

【課題】触媒を用いずに、電極間のギャップをμmオーダーとし大気圧中でのパッシェンミニマム付近で作動することで、活性力が大きい低温プラズマを発生させ流体の浄化を向上させることができるプラズマを用いた流体浄化方法及び流体浄化装置を提供する。【解決手段】複数の貫通孔11,12を有する金属基板13,14、2枚を、貫通孔同士の位置が一致するように平行に配設し、金属基板間に電圧を印可して放電を発生させるとともに、貫通孔に流体を通過させて流体を浄化する方法であって、金属基板の対向する少なくとも一方の表面にはポーラスな誘電体膜16が露出して形成されていることを特徴とするプラズマを用いた流体浄化方法。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

複数の貫通孔を有する金属基板2枚を、該貫通孔同士の位置が一致するように平行に配設し、該金属基板間に電圧を印可して放電を発生させるとともに、該貫通孔に流体を通過させて流体を浄化する方法であって、該金属基板の対向する少なくとも一方の表面にはポーラスな誘電体膜が露出して形成されていることを特徴とするプラズマを用いた流体浄化方法。

IPC (5)：

B01J 19/08 , A61L 9/18 , C02F 1/30 , B01D 53/72 , H05H 1/24

FI (5)：

B01J19/08 E , A61L9/18 , C02F1/30 , B01D53/34 120D , H05H1/24

F-Term (26)：

4C080AA09 , 4C080BB05 , 4C080CC02 , 4C080QQ11 , 4D002AA32 , 4D002BA09 , 4D002GA01 , 4D002GB20 , 4D037AA01 , 4D037AA11 , 4D037AB03 , 4D037BA16 , 4G075AA03 , 4G075AA13 , 4G075AA37 , 4G075CA47 , 4G075DA02 , 4G075DA18 , 4G075EA02 , 4G075EB21 , 4G075EB42 , 4G075EC21 , 4G075EC25 , 4G075FA01 , 4G075FB12 , 4G075FC15

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

プラズマ触媒反応器及び空気浄化装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-150602 Applicant：ダイキン工業株式会社

Cited by examiner (8)

特開平2-131123
特開平2-131123
エチレンオキサイドの分解処理方法および分解処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-379874 Applicant：ヤマハ株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

大気圧マイクロプラズマによる室内空気浄化の研究

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