大気圧グロー放電プラズマを発生させるための方法及び装置

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Applicant, Patent owner：
Agent (4)：志賀正武 , 渡邊隆 , 村山靖彦 , 実広信哉
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2004539055
Publication number (International publication number)：2006503406
Application date： Sep. 30, 2003
Publication date： Jan. 26, 2006
Summary：

大気圧グロー放電プラズマAPG(7)を発生させるための方法及び装置(1)であって、複数の電極(4,5)が配置され、この複数の電極(4,5)が前記プラズマ(7)を形成するための放電空間を規定する。電極(4,5)は、電源(8)に接続され、この電源(8)は、少なくとも50kHzの周波数を有するAC電圧を電極(4,5)に供給する。ガス状物質(6)は、前記放電空間に供給され、少なくとも、アルゴン、窒素、および空気より成る。

Claim (excerpt)：

大気圧グロー放電プラズマ(APG)を発生させる方法であって、複数の電極が、前記プラズマを形成するための放電空間を規定するように配置され、前記電極は電源に接続されると共に該電極にはAC電圧が印加され、且つガス状の物質が前記放電空間に供給され、前記電極に印加される前記AC電圧は少なくとも前記ガス状の物質のブレークダウン電圧に等しい振幅を有すると共に少なくとも50kHzの周波数を有し、且つ前記ガス状の物質は、実質的に、アルゴン、窒素、および空気から成るグループのうちの少なくとも一つから成る方法。

IPC (3)：

H05H 1/24 , C08J 7/00 , H01J 37/32

FI (4)：

H05H1/24 , C08J7/00 306 , C08J7/00 , H01J37/32

F-Term (11)：

4F073AA01 , 4F073BA03 , 4F073BA23 , 4F073BA24 , 4F073BB01 , 4F073CA01 , 4F073CA05 , 4F073CA08 , 4F073CA63 , 4F073CA65 , 4F073CA69

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

ポリマー材の大気圧のグロー放電プラズマ処理方法および装置
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平7-501055 Applicant：ザユニバーシティオブテネシーリサーチコーポレーション
ガラスクロスの表面処理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-118804 Applicant：松下電工株式会社
支持体の表面処理方法、支持体の表面処理装置及び塗布方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-094468 Applicant：コニカ株式会社

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