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J-GLOBAL ID：200903013452204738

カラーフィルタ形成基板の異物検査方法およびカラーフィルタ形成基板の異物検査装置

Inventor：
長谷川 潤

About 長谷川 潤


Applicant, Patent owner：
大日本印刷株式会社

About 大日本印刷株式会社


Agent (1)： 金山 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005126852
Publication number (International publication number)：2006300892
Application date： Apr. 25, 2005
Publication date： Nov. 02, 2006
Summary：
【課題】 ディスプレイパネル用のカラーフィルタ形成基板に対し、ブラックマトリクス上の異物を検査する場合に、着色層の形状に左右されず、異物欠陥を検出できるカラーフィルタ形成基板の異物検査方法およびカラーフィルタ形成基板の異物検査装置を提供する。【解決手段】 カラーフィルタ形成基板の所定領域のカラーフィルタ部を、反射暗視野照明にて撮影して得られた撮影画像データから、得られた2値化画像データを用いて欠陥候補部を抽出する第1の欠陥候補部抽出処理と、前記所定領域のカラーフィルタ部を、反射明視野照明にて撮影して得られた撮影画像データから、得られた2値化画像データを用いて欠陥候補部を抽出する第2の欠陥候補部抽出処理とを行い、第1の欠陥候補部抽出処理と、第2の欠陥候補部抽出処理との両方で共に欠陥候補部として抽出された箇所の欠陥候補部を、新たに欠陥として抽出する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
その一面に、カラーフィルタ部を形成するための各色の着色層が、カラーフィルタ部の各色の着色画素間のブラックマトリクス上に、該各色の着色画素からはみ出て、あるいは、跨ぐように形成されている、ディスプレイパネル用のカラーフィルタ形成基板に対し、ブラックマトリクス上の異物を検査する異物検査方法であって、前記カラーフィルタ形成基板の所定領域のカラーフィルタ部を、反射暗視野照明にて撮影して得られた撮影画像データから、得られた2値化画像データを用いて欠陥候補部を抽出する第1の欠陥候補部抽出処理と、前記所定領域のカラーフィルタ部を、反射明視野照明にて撮影して得られた撮影画像データから、得られた2値化画像データを用いて欠陥候補部を抽出する第2の欠陥候補部抽出処理とを行い、第1の欠陥候補部抽出処理と、第2の欠陥候補部抽出処理との両方で共に欠陥候補部として抽出された箇所の欠陥候補部を、新たに欠陥として抽出することを特徴とするカラーフィルタ形成基板の異物検査方法。
IPC (3)：
G01N 21/956 ,  G02F 1/133 ,  G06T 1/00
FI (3)：
G01N21/956 Z ,  G02F1/1335 505 ,  G06T1/00 300
F-Term (42)：
2G051AA42 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BB01 ,  2G051BB03 ,  2G051BB05 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051DA07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA09 ,  2G051EA11 ,  2G051EB01 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  2G051ED01 ,  2G051ED08 ,  2H091FA02Y ,  2H091FA35Y ,  2H091FC30 ,  2H091FD04 ,  2H091LA03 ,  2H091LA12 ,  2H091LA15 ,  5B057AA02 ,  5B057CA01 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB01 ,  5B057CB06 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CE12 ,  5B057CH20 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB06 ,  5B057DB09 ,  5B057DC32
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 容器検査機
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-220355   Applicant：エムハート・グラス・マシーナリー・インベストメンツ・インコーポレーテッド
Cited by examiner (12)
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