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J-GLOBAL ID：200903014209237225

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 西村 功 ,  鈴木 正睦 ,  竹内 信弘 ,  遠藤 昌之
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997239463
Publication number (International publication number)：1999084659
Application date： Sep. 04, 1997
Publication date： Mar. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 アルカリ性水溶液で現像でき、その感度が高く、かつ解像度に優れた感放射線性を有し、しかも、絶縁性、平坦性、耐熱性、耐溶剤性、透明性等の諸性能に優れるのみならず、低誘電率であるパターン状薄膜を容易に形成することができる、感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (A)ヘキサフルオロプロピレンの重合単位を含む含フッ素共重合体、(B)放射線の照射を受けて酸を発生する酸発生化合物、(C)架橋性基を少なくとも1個含有する架橋性化合物、並びに(D)前記(A)成分、(B)成分および(C)成分を溶解している有機溶媒からなる感放射線性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(A)、(a-1)ヘキサフルオロプロピレン、(a-2)エチレン性不飽和結合および下記式(1)【化1】ここで、Mは炭素原子、ケイ素原子またはゲルマニウム原子を示し、R1、R2およびR3は互いに独立に水素原子、炭素数1〜10の鎖状アルキル基、炭素数1〜10のハロゲン化アルキル基、炭素数3〜10の環状アルキル基、炭素数6〜10のアリール基、炭素数7〜11のアラルキル基または下記式(2)-O-R4 (2)ここで、R4は炭素数1〜10の鎖状アルキル基、炭素数1〜10のハロゲン化アルキル基、炭素数3〜10の環状アルキル基、炭素数6〜10のアリール基または炭素数7〜11のアラルキル基を示す、を示すかあるいは、R1、R2およびR3のいずれか2つが互いに結合してそれらが結合しているMと一緒になって4〜7員環を形成していてもよい、で表される酸分解性基を有する化合物、(a-3)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物並びに(a-4)上記(a-1)成分、(a-2)成分および(a-3)成分と共重合可能な不飽和化合物、の含フッ素共重合体、(B)、放射線の照射を受けて酸を発生する酸発生化合物、(C)、架橋性基を少なくとも1個含有する架橋性化合物、並びに(D)、前記(A)成分、(B)成分および(C)成分を溶解している有機溶媒からなることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/039 601 ,  C08F259/08 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (5)：

G03F 7/039 601 ,  C08F259/08 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/312 D ,  H01L 21/30 502 R