表面特性解析装置、表面特性解析方法およびプローブユニット

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (1)：永井冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006270618
Publication number (International publication number)：2008089404
Application date： Oct. 02, 2006
Publication date： Apr. 17, 2008
Summary：

【課題】プローブユニットの位置決め精度の向上を図ることができる表面特性解析装置の提供。【解決手段】特性計測用プローブ12aが形成されたカンチレバー12を励振部5により共振させ、カンチレバー12の振動を振動検出部6で検出し、その検出結果に基づいて試料のAFM観察を制御・演算部9で求める。そして、そのAFM観察に基づいて、4端子プローブユニット1を試料の計測位置に位置決めし、プローブ11a〜14aを試料に接触させて電気特性を計測する。AFM観察に基づいて位置決めされた位置で計測できるので、位置決め精度の向上を図ることができる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

試料に接触させて当該試料の特性を計測する複数のプローブと、前記複数のプローブをそれぞれ本体から支持する複数のカンチレバーと、前記複数のカンチレバーに所定周波数の振動を付加する振動子と、前記複数のカンチレバーのうち前記所定周波数で共振するカンチレバーの振動を検出して試料表面を観察する観察手段と、前記複数のプローブで前記試料の表面特性を検出する検出手段とを備えることを特徴とする表面特性解析装置。

IPC (3)：

G01N 13/10 , G01R 1/073 , G01N 13/16

FI (4)：

G01N13/10 F , G01R1/073 A , G01N13/16 A , G01N13/16 C

F-Term (2)：

2G011AA13 , 2G011AC06

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

極微小多探針プローブの製造方法及び表面特性解析装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-254880 Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社

Cited by examiner (5)

マルチプローブ及び走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-070925 Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
極微小多探針プローブの製造方法及び表面特性解析装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-254880 Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-408896 Applicant：アオイ電子株式会社, 細木真保, 橋口原, 三原豊, 大平文和

Show all

Return to Previous Page