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J-GLOBAL ID：200903028395004660
走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーおよびその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003408896
Publication number (International publication number)：2005172456
Application date： Dec. 08, 2003
Publication date： Jun. 30, 2005
Summary：
【課題】 探針の先端部に比べて面積の狭い線状の試料に対しても、安定した走査が可能なカンチレバーを提供すること。【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー10は、レバー部11の一端に探針部12、他端に支持体13が一体に形成され、探針部12は、レバー部11の厚さ方向(Z方向)に突出し、レバー部11の長さ方向(X方向)に延在する長さLを有する線状突起である。探針部12の先端は、稜線12aである。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
レバー部の一端に探針部、他端に支持部が一体に形成された走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーであって、
前記探針部は、前記レバー部の厚さ方向に突出し、前記レバー部の長さ方向に延在する所定長さを有する線状突起であり、
前記探針部の先端は、前記線状突起の稜線であることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N13/16 C
, G12B1/00 601A
Cited by applicant (1)
Cited by examiner (6)
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Article cited by the Patent：
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