有機誘電体を有する有機電界効果トランジスタ

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (6)：社本一夫 , 増井忠弐 , 小林泰 , 千葉昭男 , 富田博行 , 野矢宏彰
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2003553638
Publication number (International publication number)：2005513788
Application date： Nov. 21, 2002
Publication date： May. 12, 2005
Summary：

a)溶液から有機半導体層を堆積させる工程、およびb)溶液から低誘電率絶縁材料の層を堆積させて、その低誘電率絶縁材料が上記有機半導体層と接触するようにゲート絶縁体の少なくとも一部を形成する工程を含み、ここで上記低誘電率絶縁材料は比誘電率が1.1から3.0未満までである有機電界効果デバイスを製造する方法が提供される。加えて、上記方法によって製造された有機電界効果デバイスが提供される。

Claim (excerpt)：

有機電界効果デバイスを製造する方法であって、 a)溶液から有機半導体層を堆積させ;そして b)溶液から低誘電率絶縁材料の層を堆積させて、その低誘電率絶縁材料が上記有機半導体層と接触するようにゲート絶縁体の少なくとも一部を形成する工程を含み、ここで上記低誘電率絶縁材料は比誘電率が1.1から3.0未満までである上記の方法。

IPC (5)：

H01L29/786 , H01L21/312 , H01L21/336 , H01L21/368 , H01L51/00

FI (10)：

H01L29/78 617T , H01L21/312 A , H01L21/312 M , H01L21/368 L , H01L29/78 618B , H01L29/78 617U , H01L29/78 618A , H01L29/78 617V , H01L29/78 618Z , H01L29/28

F-Term (49)：

5F053AA06 , 5F053BB09 , 5F053DD19 , 5F053FF01 , 5F053JJ01 , 5F053JJ03 , 5F053LL10 , 5F058AB06 , 5F058AC05 , 5F058AC06 , 5F058AC10 , 5F058AD02 , 5F058AD06 , 5F058AD07 , 5F058AD09 , 5F058AD10 , 5F058AD12 , 5F058AF04 , 5F058AG01 , 5F058AH01 , 5F058BD05 , 5F058BD07 , 5F058BD18 , 5F058BD19 , 5F058BF46 , 5F058BH01 , 5F058BJ01 , 5F110AA01 , 5F110AA28 , 5F110BB04 , 5F110CC01 , 5F110CC03 , 5F110CC05 , 5F110CC07 , 5F110EE42 , 5F110EE43 , 5F110FF01 , 5F110FF05 , 5F110FF09 , 5F110FF27 , 5F110GG05 , 5F110GG06 , 5F110GG24 , 5F110GG28 , 5F110GG29 , 5F110GG42 , 5F110HK02 , 5F110HK21 , 5F110HK32

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

液晶表示装置の製造方法及びその製造方法による液晶表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-091520 Applicant：エルジー電子株式会社
特開昭63-012172
電界効果型トランジスタ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-039712 Applicant：日本電気株式会社

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