磁気抵抗効果素子及びその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：井桁貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997240938
Publication number (International publication number)：1998154618
Application date： Sep. 05, 1997
Publication date： Jun. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】高出力かつ高耐蝕性のスピンバルブ膜を提供する。【解決手段】第一の磁性層の上下両側に非磁性層を介して第二の磁性層があり、更にその上下両側に前記第二の磁性層と接する形で反強磁性層が設けられる構造を持つ二重構造の磁気抵抗効果素子において、反強磁性層の少なくとも一方をPdPtMn合金とする。また,PdPtMn反強磁性層の上下両側に,第二の磁性層,非磁性層,第一の磁性層を上下対称に設けて,スピンバルブ膜を薄くしてもよい。

Claim (excerpt)：

1つ以上の磁性膜からなる第一の磁性層があり、該第一の磁性層の上下両側に非磁性層を介して1つ以上の磁性膜からなる第二の磁性層があり、更に該第一の磁性層,該非磁性層及び該第二の磁性層を含む積層の上下両側に前記第二の磁性層と接する形で反強磁性層が設けられる構造を持つ二重構造の磁気抵抗効果素子において、前記反強磁性層の少なくとも一方がPd-Pt-Mn合金であることを特徴とする磁気抵抗効果素子。

IPC (4)：

H01F 10/08 , G11B 5/39 , H01L 43/08 , H01L 43/12

FI (4)：

H01F 10/08 , G11B 5/39 , H01L 43/08 Z , H01L 43/12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

二重スピン・バルブ磁気抵抗センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-275141 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
交換結合膜および磁気抵抗効果素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-026775 Applicant：株式会社東芝
磁気抵抗センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-187788 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション

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