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J-GLOBAL ID：200903015660694563

高速回転羽根式フィルターを備えたレーザーアブレーション成膜装置

Inventor：
吉武 剛

About 吉武 剛


Applicant, Patent owner：
独立行政法人科学技術振興機構

About 独立行政法人科学技術振興機構


Agent (1)： 西 義之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003208722
Publication number (International publication number)：2005068449
Application date： Aug. 25, 2003
Publication date： Mar. 17, 2005
Summary：
【課題】ドロップレットを捕捉する回転羽根式フィルターを用いるレーザーアブレーション成膜装置のより一層の耐久性向上。【解決手段】回転羽根の回転軸がほぼ鉛直であり、回転軸のベアリング機構が回転羽根の上方に位置するごとく回転羽根を回転軸に設置する。回転軸が真空容器の上面に設けたベアリング機構により支持され、かつ上端側に回転駆動機構を設け、回転軸の下端部に回転羽根式フィルターが設置されるようにするとよい。また、回転軸が真空容器の上面に設けたベアリング機構及び下面に設けたベアリング機構により支持され、回転軸の中間部に回転羽根が設置されているようにしてもよい。さらに、飛散微粒子が回転軸とベアリング機構との間隙に侵入することを防止する遮蔽部品を備えるようにするとよい。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
ドロップレット除去用回転羽根式フィルターを真空容器内に備えた、レーザーアブレーション成膜装置において、回転羽根の回転軸がほぼ鉛直であり、回転軸のベアリング機構が回転羽根の上方に位置するごとく回転羽根が回転軸に設置されていることを特徴とするレーザーアブレーション成膜装置。
IPC (3)：
C23C14/28 ,  C23C26/00 ,  H01L21/203
FI (3)：
C23C14/28 ,  C23C26/00 E ,  H01L21/203 Z
F-Term (21)：
4K029CA01 ,  4K029DA12 ,  4K029DB20 ,  4K044AA01 ,  4K044AA11 ,  4K044AA13 ,  4K044AB10 ,  4K044BA21 ,  4K044BC14 ,  4K044CA44 ,  4K044CA71 ,  5F103AA10 ,  5F103BB08 ,  5F103BB13 ,  5F103BB16 ,  5F103BB38 ,  5F103BB47 ,  5F103DD27 ,  5F103DD28 ,  5F103DD30 ,  5F103RR06
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
  • 成膜装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-205206   Applicant：三菱マテリアル株式会社
  • 成膜方法および成膜装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-007311   Applicant：キヤノン株式会社
  • 成膜装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-199119   Applicant：日立金属株式会社
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